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公开(公告)号:CN1582068A
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN200410064069.7
申请日:2004-07-30
Applicant: 株式会社丰田自动织机
CPC classification number: H01L51/5259 , H01L51/5253
Abstract: 形成于玻璃基体上的EL部件包括阳极、有机光发射层和阴极。通过干法在EL部件的表面形成第一保护层以覆盖EL部件。然后在第一保护层的表面通过湿法用聚硅氮烷形成第二保护层以覆盖第一保护层。即使由于外来物质的存在而使第一保护膜上留下未被覆盖的部分,第二保护膜也会覆盖该未被覆盖的部分,以避免外部的氧气或其他气体、湿气等侵入EL部件内部。
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公开(公告)号:CN101369637A
公开(公告)日:2009-02-18
申请号:CN200810149061.9
申请日:2005-02-28
Applicant: 株式会社丰田自动织机
CPC classification number: C23C16/345 , H01L21/3185 , H01L51/5253
Abstract: 在玻璃基片上形成包括阳极、有机光发射层及阴极的一种电致发光器件,在该电致发光元件表面上形成由Si及SiNx构成的覆盖该电致发光元件的密封薄膜,其中键合硅原子的硅原子数目对键合氮原子的硅原子数目的比等于或大于0.6但等于或小于2.0。
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公开(公告)号:CN100433403C
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN200510052469.0
申请日:2005-02-28
Applicant: 株式会社丰田自动织机
CPC classification number: C23C16/345 , H01L21/3185 , H01L51/5253
Abstract: 在玻璃基片上形成包括阳极、有机光发射层及阴极的一种电致发光器件,在该电致发光元件表面上形成由Si及SiNx构成的覆盖该电致发光元件的密封薄膜,其中键合硅原子的硅原子数目对键合氮原子的硅原子数目的比等于或大于0.6但等于或小于2.0。
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公开(公告)号:CN100416888C
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200410064069.7
申请日:2004-07-30
Applicant: 株式会社丰田自动织机
CPC classification number: H01L51/5259 , H01L51/5253
Abstract: 形成于玻璃基体上的EL部件包括阳极、有机光发射层和阴极。通过干法在EL部件的表面形成第一保护层以覆盖EL部件。然后在第一保护层的表面通过湿法用聚硅氮烷形成第二保护层以覆盖第一保护层。即使由于外来物质的存在而使第一保护膜上留下未被覆盖的部分,第二保护膜也会覆盖该未被覆盖的部分,以避免外部的氧气或其他气体、湿气等侵入EL部件内部。
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公开(公告)号:CN1678151A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510052469.0
申请日:2005-02-28
Applicant: 株式会社丰田自动织机
CPC classification number: C23C16/345 , H01L21/3185 , H01L51/5253
Abstract: 在玻璃基片上形成包括阳极、有机光发射层及阴极的一种电致发光器件,在该电致发光元件表面上形成由Si及SiNx构成的覆盖该电致发光元件的密封薄膜,其中键合硅原子的硅原子数目对键合氮原子的硅原子数目的比等于或大于0.6但等于或小于2.0。
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