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公开(公告)号:CN104396017A
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201380031789.0
申请日:2013-04-11
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子管器件株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/144
CPC classification number: H01L22/14 , H01L27/0248 , H01L27/14632 , H01L27/14663 , H01L27/14676 , H01L27/14683 , H01L27/14687
Abstract: 为了改进在制造X射线平板检测器时检查TFT阵列的准确度。制造X射线平板检测器的TFT阵列基板(30),公用引线环(32)被设置在其中形成TFT阵列(21)的X-射线平板检测器的一部分的周围,且TFT阵列基板(30)经由具有相反极性的两个并联组而连接的一对保护二极管(34)连接至信号线(53)和扫描线(54)。当检查X射线平板检测器的TFT阵列基板(30)时,与检测电路的放大器的基准偏置电压相同的基准偏置电压从外部电压施加焊盘被施加,该外部电压施加焊盘被设置在在信号线同一侧上的公用引线环和保护二极管的连接附近;用于导通薄膜晶体管(41)的信号被施加至扫描线连接焊盘(24);并且流过信号线(53)的电信号从信号线连接焊盘(23)被读取。
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公开(公告)号:CN104396017B
公开(公告)日:2018-08-24
申请号:CN201380031789.0
申请日:2013-04-11
Applicant: 东芝电子管器件株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/144
CPC classification number: H01L22/14 , H01L27/0248 , H01L27/14632 , H01L27/14663 , H01L27/14676 , H01L27/14683 , H01L27/14687
Abstract: 为了改进在制造X射线平板检测器时检查TFT阵列的准确度。制造X射线平板检测器的TFT阵列基板(30),公用引线环(32)被设置在其中形成TFT阵列(21)的X‑射线平板检测器的一部分的周围,且TFT阵列基板(30)经由具有相反极性的两个并联组而连接的一对保护二极管(34)连接至信号线(53)和扫描线(54)。当检查X射线平板检测器的TFT阵列基板(30)时,与检测电路的放大器的基准偏置电压相同的基准偏置电压从外部电压施加焊盘被施加,该外部电压施加焊盘被设置在信号线同一侧上的公用引线环和保护二极管的连接附近;用于导通薄膜晶体管(41)的信号被施加至扫描线连接焊盘(24);并且流过信号线(53)的电信号从信号线连接焊盘(23)被读取。
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公开(公告)号:CN1196943C
公开(公告)日:2005-04-13
申请号:CN01800711.2
申请日:2001-03-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G01T1/20
CPC classification number: G01T1/243 , G01T1/2018 , H01L27/14663
Abstract: 公开了一种平板X射线检测器,包含将射入的X射线变换为电荷的X射线电荷变换薄膜(109)、与X射线电荷变换薄膜(109)相邻的并为每一像素设置的像素电极(504)、与像素电极(504)相连的开关部件(401)、与开关部件(401)相连的信号线以及给开关部件(401)提供驱动信号的扫描线,其中X射线电荷变换薄膜(109)包含磷光体粒子(110)、光敏材料(111)和载流子传输材料(112)。
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公开(公告)号:CN1316634C
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN02140023.7
申请日:2002-09-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L27/14659 , H01L27/14609 , H01L31/0296
Abstract: X光平面检测器,具有:通过入射的X射线进行感光产生信号电荷的X光感光膜;和连接在上述X光感光膜上的二维配置的多个像素电极;和为了于上述X光感光膜内产生的作为信号电荷的空穴和电子中,向上述的多个像素电极收集迁移率高的一方,而向上述X光感光膜施加偏置电压的偏置电压施加单元;和设置在每个上述的像素电极内,蓄积在上述X光感光膜上产生的电荷的多个电容器;和设置在每个上述的像素电极内,读取在上述电容器中蓄积的电荷的多个开关薄膜晶体管;和供给上述多个开关薄膜晶体管开关控制的控制信号的多条扫描线;和连接在上述多个开关薄膜晶体管上,在该开关薄膜晶体管关闭时读取上述电荷的多条信号线。
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公开(公告)号:CN1438713A
公开(公告)日:2003-08-27
申请号:CN02140023.7
申请日:2002-09-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L27/14659 , H01L27/14609 , H01L31/0296
Abstract: X光平面检测器,具有:通过入射的X射线进行感光产生信号电荷的X光感光膜;和连接在上述X光感光膜上的二维配置的多个像素电极;和为了于上述X光感光膜内产生的作为信号电荷的空穴和电子中,向上述的多个像素电极收集迁移率高的一方,而向上述X光感光膜施加偏置电压的偏置电压施加单元;和设置在每个上述的像素电极内,蓄积在上述X光感光膜上产生的电荷的多个电容器;和设置在每个上述的像素电极内,读取在上述电容器中蓄积的电荷的多个开关薄膜晶体管;和供给上述多个开关薄膜晶体管开关控制的控制信号的多条扫描线;和连接在上述多个开关薄膜晶体管上,在该开关薄膜晶体管关闭时读取上述电荷的多条信号线。
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公开(公告)号:CN1365448A
公开(公告)日:2002-08-21
申请号:CN01800711.2
申请日:2001-03-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G01T1/20
CPC classification number: G01T1/243 , G01T1/2018 , H01L27/14663
Abstract: 公开了一种平板X射线检测器,包含将射入的X射线变换为电荷的X射线电荷变换薄膜(109)、与X射线电荷变换薄膜(109)相邻的并为每一像素设置的像素电极(504)、与像素电极(504)相连的开关部件(401)、与开关部件(401)相连的信号线以及给开关部件(401)提供驱动信号的扫描线,其中X射线电荷变换薄膜(109)包含磷光体粒子(110)、光敏材料(111)和载流子传输材料(112)。
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