公开(公告)号：CN104396017A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380031789.0

申请日：2013-04-11

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝电子管器件株式会社

Inventor： 岩田弘 ,  池田光志

IPC: H01L27/146 ,  H01L27/144

CPC classification number: H01L22/14 ,  H01L27/0248 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14663 ,  H01L27/14676 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14687

Abstract: 为了改进在制造X射线平板检测器时检查TFT阵列的准确度。制造X射线平板检测器的TFT阵列基板(30)，公用引线环(32)被设置在其中形成TFT阵列(21)的X-射线平板检测器的一部分的周围，且TFT阵列基板(30)经由具有相反极性的两个并联组而连接的一对保护二极管(34)连接至信号线(53)和扫描线(54)。当检查X射线平板检测器的TFT阵列基板(30)时，与检测电路的放大器的基准偏置电压相同的基准偏置电压从外部电压施加焊盘被施加，该外部电压施加焊盘被设置在在信号线同一侧上的公用引线环和保护二极管的连接附近；用于导通薄膜晶体管(41)的信号被施加至扫描线连接焊盘(24)；并且流过信号线(53)的电信号从信号线连接焊盘(23)被读取。

公开(公告)号：CN104396017B

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201380031789.0

申请日：2013-04-11

Applicant: 东芝电子管器件株式会社

Inventor： 岩田弘 ,  池田光志

IPC: H01L27/146 ,  H01L27/144

CPC classification number: H01L22/14 ,  H01L27/0248 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14663 ,  H01L27/14676 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/14687

Abstract: 为了改进在制造X射线平板检测器时检查TFT阵列的准确度。制造X射线平板检测器的TFT阵列基板(30)，公用引线环(32)被设置在其中形成TFT阵列(21)的X‑射线平板检测器的一部分的周围，且TFT阵列基板(30)经由具有相反极性的两个并联组而连接的一对保护二极管(34)连接至信号线(53)和扫描线(54)。当检查X射线平板检测器的TFT阵列基板(30)时，与检测电路的放大器的基准偏置电压相同的基准偏置电压从外部电压施加焊盘被施加，该外部电压施加焊盘被设置在信号线同一侧上的公用引线环和保护二极管的连接附近；用于导通薄膜晶体管(41)的信号被施加至扫描线连接焊盘(24)；并且流过信号线(53)的电信号从信号线连接焊盘(23)被读取。