公开(公告)号：CN115809978A

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN202210170165.8

申请日：2022-02-24

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝数字解决方案株式会社

Inventor： 大野博司 ,  加纳宏弥 ,  神川卓大 ,  冈野英明 ,  大野启文 ,  川崎晃生 ,  吉川寿广

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/90 ,  G06T5/20

Abstract: 本发明的实施方式涉及光学检查方法、光学检查程序、处理装置以及光学检查装置。提供能够检查被检物的表面状态的光学检查方法、光学检查程序、处理装置以及光学检查装置。根据实施方式，被检物的表面状态的光学检查方法包括：通过使用使来自被检物的表面的相互不同的多个波长选择性地通过的波长选择部的光学上的成像，在与影像传感器的各像素的多个颜色通道的数量相同或者比该数量更少的n维的颜色坐标系中取得与该波长对应的颜色的颜色向量；以及根据颜色坐标系中的颜色向量的方向，判别被检物的表面状态。

公开(公告)号：CN118688099A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202311162750.4

申请日：2023-09-08

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝情报系统株式会社

Inventor： 大野博司 ,  加纳宏弥 ,  神川卓大 ,  冈野英明 ,  铃木小百合 ,  平川千纱 ,  大野启文 ,  高木义昭

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/64 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明的实施方式涉及光学检查方法、存储有光学检查程序的存储介质以及光学检查装置。提供能够获取物体的信息的光学检查方法。根据实施方式，光学检查方法包括：利用波长选择部选择性地使来自物点的包括至少两个不同的波长谱的光通过，利用具有能够接受波长谱的光的至少两个颜色通道的拍摄部对物点进行拍摄；基于针对物点的至少两个颜色通道中的受光数据，使至少两个不同的波长谱的光成为分别具有不同的方向的信号向量；以及基于信号向量的方向，对物点处的光的方向分布的离散度进行推定处理。