公开(公告)号：CN115809978A

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN202210170165.8

申请日：2022-02-24

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝数字解决方案株式会社

Inventor： 大野博司 ,  加纳宏弥 ,  神川卓大 ,  冈野英明 ,  大野启文 ,  川崎晃生 ,  吉川寿广

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/90 ,  G06T5/20

Abstract: 本发明的实施方式涉及光学检查方法、光学检查程序、处理装置以及光学检查装置。提供能够检查被检物的表面状态的光学检查方法、光学检查程序、处理装置以及光学检查装置。根据实施方式，被检物的表面状态的光学检查方法包括：通过使用使来自被检物的表面的相互不同的多个波长选择性地通过的波长选择部的光学上的成像，在与影像传感器的各像素的多个颜色通道的数量相同或者比该数量更少的n维的颜色坐标系中取得与该波长对应的颜色的颜色向量；以及根据颜色坐标系中的颜色向量的方向，判别被检物的表面状态。