搬运机构、搬运夹具以及搬运台车

    公开(公告)号:CN102417109A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201110263797.0

    申请日:2011-09-07

    CPC classification number: H01L21/67772

    Abstract: 本实施方式的一个方式的搬运机构,在相互使开口部侧对置配置的处理室和搬运箱之间,一边维持气密状态一边交接工件,其中,具备:处理室盖部,使上述处理室的开口部开闭自由且气密地覆盖上述处理室的开口部,并且在上述搬运箱侧具有凹部;引导机构,向上述处理室的内部侧引导该处理室盖部;工件支撑部,设置于上述处理室内;搬运箱盖部,使上述搬运箱的开口部开闭自由且气密地覆盖上述搬运箱的开口部,并且气密地嵌入上述凹部;以及结合部,上述处理室的开口部周围的前面部与上述搬运箱的开口部周围的前面部气密地结合而成。

    改变工件姿势的设备和方法

    公开(公告)号:CN101306536A

    公开(公告)日:2008-11-19

    申请号:CN200810097091.X

    申请日:2008-05-14

    CPC classification number: B65G47/918 B65G47/252 H01L21/6838

    Abstract: 工件姿势改变设备和方法,设备包括:包括吸引口的第一吸嘴,吸引口能吸引工件第一表面,工件具有多个处于不同平面上的表面;与第一吸嘴具有预定倾斜角的第二吸嘴,第二吸嘴包括处于与第一吸嘴的吸引口不同平面上的吸引口,第二吸嘴的吸引口能吸引工件第二表面;真空压力切换装置,用来将真空压力施加于第一吸嘴以使其吸引口吸引工件第一表面,真空压力切换装置停止向第一吸嘴供应真空压力并将真空压力施加于第二吸嘴以使其吸引口吸引工件第二表面,并将工件从第一吸嘴传送至第二吸嘴。方法包括:利用第一吸嘴的吸引口吸引工件第一表面;利用真空压力切换装置将真空压力从第一吸嘴施加至第二吸嘴;利用第二吸嘴的吸引口吸引工件以改变工件姿势。

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