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公开(公告)号:CN115861910A
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN202210215781.0
申请日:2022-03-07
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明提供一种能够自动地分析作业的分析装置、分析系统、分析方法及存储介质。有关实施方式的分析装置执行与制造工序中的多个作业相关的分析。所述分析装置从对执行所述多个作业中的各个作业时的图像进行获取的摄像装置接收所述图像。所述分析装置从在所述多个作业中的至少任一个作业中使用的工具接收所述工具检测出的检测信号。所述分析装置参照用于判定所述多个作业中的各个作业的结束的结束判定数据。所述分析装置根据所述图像、所述检测信号及所述结束判定数据,判定所述多个作业中的各个作业的结束。