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公开(公告)号：CN103301992B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310070532.8
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向被处理物的处理面喷出的第一喷嘴、设置在第一喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出第二处理液的第二喷嘴、以及设置在第二喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出清洗液的第三喷嘴。而且，第二喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出第二处理液，第三喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。
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公开(公告)号：CN103301992A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310070532.8
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝 , 芝浦机械电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向被处理物的处理面喷出的第一喷嘴、设置在第一喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出第二处理液的第二喷嘴、以及设置在第二喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出清洗液的第三喷嘴。而且，第二喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出第二处理液，第三喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。
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公开(公告)号：CN104037108A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410080006.4
申请日：2014-03-06
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明的一个实施方式，为具备用冲刷液冲洗处理物的表面的处理液的冲刷部、以及使上述处理物的表面干燥的干燥部的处理装置，上述干燥部具有：腔室；设置在上述腔室的内部、朝上述处理物的表面喷射气体的喷嘴；设置在上述冲刷部与设置有上述喷嘴的上述腔室内部的空间之间的气流控制部；以及沿上述处理物的搬送方向排列的多个搬送辊。并且，上述气流控制部具有设置在上述处理物搬入一侧的第1开口部和设置在上述处理物搬出一侧的第2开口部，上述第2开口部的开口面积比上述第1开口部的开口面积小。
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