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公开(公告)号:CN108351205A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680062433.7
申请日:2016-03-03
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝基础设施系统株式会社
IPC: G01B21/08
Abstract: 根据实施方式,测量装置具有基部、一对测距仪及辅助部件。基部具有下框、与所述下框对置地设置的上框、以及将所述下框及所述上框连结的支柱。一对测距仪分别设置于所述下框及所述上框,以能够使测量对象穿过的间隙相互对置地配置。辅助部件设置于所述基部,由具有与所述支柱不同的线性膨胀系数的材料构成,在所述一对测距仪对置的方向的长度为使该辅助部件成为与因热而在所述一对测距仪对置的方向上膨胀的所述支柱的膨胀量相同的膨胀量的长度。
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公开(公告)号:CN104024795B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201380004457.3
申请日:2013-01-28
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 竹村将太
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/026 , G01B11/2518 , G01S17/48 , H01L27/14868
Abstract: 提供一种能够进行高精度的距离运算的距离计测装置、距离计测方法以及控制程序。实施方式的距离计测装置具备:多激光光束照射部,将多个具有椭圆形状的激光光束在短轴方向上横向一列地向测定对象物的表面进行照射;照射位置变更部,沿着所照射的激光光束的长轴方向,使多个激光光束的照射位置一体地往复移动;摄像部,接受多个激光光束的反射光,对在摄像面上成像了的多个上述激光光束的反射光的明暗图案进行摄像;以及距离运算部,根据摄像面上的反射光的明暗图案,通过运算求出到测定对象物的距离。
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公开(公告)号:CN108351205B
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201680062433.7
申请日:2016-03-03
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝基础设施系统株式会社
IPC: G01B21/08
Abstract: 根据实施方式,测量装置具有基部、一对测距仪及辅助部件。基部具有下框、与所述下框对置地设置的上框、以及将所述下框及所述上框连结的支柱。一对测距仪分别设置于所述下框及所述上框,以能够使测量对象穿过的间隙相互对置地配置。辅助部件设置于所述基部,由具有与所述支柱不同的线性膨胀系数的材料构成,在所述一对测距仪对置的方向的长度为使该辅助部件成为与因热而在所述一对测距仪对置的方向上膨胀的所述支柱的膨胀量相同的膨胀量的长度。
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公开(公告)号:CN103038602A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201280002200.X
申请日:2012-03-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G01B11/24
CPC classification number: H04N5/2352
Abstract: 测定装置(100)的响应时间的缩短方法,在预先设定的控制周期的时间内,控制CCD摄像机的曝光时间,所述缩短方法的特征在于,CCD摄像机采用同时得到不同透射率的2个以上的滤光器输出的摄像机,透射率为εND1>εND2>…εNDi>εNDi+1>…>εNDi+n,是使检测出输入光量的最小值的透射率εNDi高的第一滤光器的摄像机输出的测定范围的饱和值、与透射率εNDi+1低的第二滤光器的摄像机输出的测定范围的最小值重叠那样的透射率,在第一滤光器的摄像机输出饱和的情况下,根据第二滤光器的摄像机输出,或者,根据透射率εNDi与透射率εNDi+1的比率,求取换算为第一滤光器的摄像机输出的曝光时间的校正增益,以前次的控制周期检测输入光量,以下次的控制周期更新第一滤光器的摄像机的曝光时间。
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公开(公告)号:CN103038602B
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:CN201280002200.X
申请日:2012-03-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G01B11/24
CPC classification number: H04N5/2352
Abstract: 测定装置(100)的响应时间的缩短方法,在预先设定的控制周期的时间内,控制CCD摄像机的曝光时间,所述缩短方法的特征在于,CCD摄像机采用同时得到不同透射率的2个以上的滤光器输出的摄像机,透射率为εND1>εND2>…εNDi>εNDi+1>…>εNDi+n,是使检测出输入光量的最小值的透射率εNDi高的第一滤光器的摄像机输出的测定范围的饱和值、与透射率εNDi+1低的第二滤光器的摄像机输出的测定范围的最小值重叠那样的透射率,在第一滤光器的摄像机输出饱和的情况下,根据第二滤光器的摄像机输出,或者,根据透射率εNDi与透射率εNDi+1的比率,求取换算为第一滤光器的摄像机输出的曝光时间的校正增益,以前次的控制周期检测输入光量,以下次的控制周期更新第一滤光器的摄像机的曝光时间。
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公开(公告)号:CN104024795A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201380004457.3
申请日:2013-01-28
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 竹村将太
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/026 , G01B11/2518 , G01S17/48 , H01L27/14868 , G01B9/02019 , G01B9/02082 , G01B11/0608
Abstract: 实施方式的多激光光束照射部将多个具有椭圆形状的激光光束在短轴方向上横向一列地向测定对象物的表面进行照射。照射位置变更部沿着所照射的上述激光光束的长轴方向,使上述多个激光光束的照射位置一体地往复移动。摄像部接受上述多个激光光束的反射光,对在摄像面上成像了的多个上述激光光束的反射光的明暗图案进行摄像。结果,距离运算部根据摄像面上的反射光的明暗图案,通过运算求出到测定对象物的距离。
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