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公开(公告)号:CN115989082A
公开(公告)日:2023-04-18
申请号:CN202280005778.4
申请日:2022-03-04
Applicant: 株式会社东芝
Inventor: 秋田征人 , 福井有彩 , 石原美津子
IPC: B01J19/00
Abstract: 根据一种实施方案,用于去除异物的流道结构包含第一流道。第一流道具有第一区域,所述第一区域具有比另一区域的深度更浅的深度。