公开(公告)号：CN1079785C

公开(公告)日：2002-02-27

申请号：CN96190015.6

申请日：1996-06-28

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 小松通泰 ,  白井隆雄

IPC: C04B35/58 ,  H01L21/52 ,  H01L23/12

CPC classification number: C04B35/581 ,  H01L23/15 ,  H01L23/3731 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明所涉及的氮化铝烧结体，其特征在于含有1-10%(重量)从周期表Ⅲa族元素、Ca、Sr、Ba中选择的至少一种元素的氧化物，0.2-2.0%(重量)碳化硼，0.2%(重量，以Si成分计)以下从SiO2、Si3N4、SiC、Si2N2O、β-Sialon、α-Sialon和多型氧化铝(Al-Si-O-N)中选择的至少一种硅化合物，和构成其余部分的氨化铝。按照上述构成，可以抑制AlN烧结体的晶粒生长、使烧结体组织微细化同时增强粒界相与晶粒的结合，从而得到烧结体强度和破坏韧性值均有改善、不损害氛化铝特有的散热特性、机械强度和破坏韧性值均有提高的AlN烧结体。

公开(公告)号：CN1152298A

公开(公告)日：1997-06-18

申请号：CN96190015.6

申请日：1996-06-28

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 小松通泰 ,  白井隆雄

IPC: C04B35/58 ,  H01L21/52 ,  H01L23/12

CPC classification number: C04B35/581 ,  H01L23/15 ,  H01L23/3731 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明所涉及的氮化铝烧结体，其特征在于含有1-10％(重量)从周期表IIIa族元素、Ca、Sr、Ba中选择的至少一种元素的氧化物，0.2-2.0％(重量)碳化硼，0.2％(重量，以Si成分计)以下从SiO2、Si3N4、SiC、Si2N2O、β-Sialon、α-Sialon和多型氮化铝(Al-Si-O-N)中选择的至少一种硅化合物，和构成其余部分的氮化铝。按照上述构成，可以抑制AlN烧结体的晶粒生长、使烧结体组织微细化同时增强粒界相与晶粒的结合，从而得到烧结体强度和破坏韧性值均有改善、不损害氮化铝特有的散热特性、机械强度和破坏韧性值均有提高的AlN烧结体。