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公开(公告)号:CN101097947A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200710127047.4
申请日:2007-06-28
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L29/00 , H01L29/872 , H01L29/861 , H01L29/78
CPC classification number: H01L29/66712 , H01L29/0615 , H01L29/0619 , H01L29/0623 , H01L29/0634 , H01L29/1608 , H01L29/402 , H01L29/6606 , H01L29/66068 , H01L29/66143 , H01L29/66333 , H01L29/7395 , H01L29/7811 , H01L29/8611 , H01L29/872
Abstract: 一种半导体器件,包括:第一导电类型的半导体衬底(1);第一导电类型的半导体层(2),其形成在所述半导体衬底(1)上且具有有源区和包围该有源区的边缘终止区;第二导电类型的第一半导体区(8),其形成在边缘终止区中与有源区的边缘相邻;第二导电类型的第二半导体区(7),其以薄片状和网孔状掩埋在边缘终止区中且基本平行于半导体层(2)的表面;第一电极(3),其形成在半导体层(2)的有源区以及第一半导体区(8)的一部分上;以及第二电极(4),其形成在半导体衬底(1)的底表面上。