公开(公告)号：CN1512169A

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN200310124325.2

申请日：2003-12-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 土屋英雄 ,  加藤芳秀 ,  松木一人 ,  真田恭 ,  小川力 ,  永尾拓朗

IPC: G01N21/88

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明的图形检查方法和装置不修正外观上的图象像素的位置地，在小块－小块比较方式下进行比较。在小块－小块比较方式中，在从芯片(A’)取得图象时，使芯片(A’)中的图形和上述像素的关系与芯片(A)中的图形和上述像素的关系一致。

公开(公告)号：CN1285903C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200310124325.2

申请日：2003-12-26

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 土屋英雄 ,  加藤芳秀 ,  松木一人 ,  真田恭 ,  小川力 ,  永尾拓朗

IPC: G01N21/956 ,  G01M11/00

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明的图形检查方法和装置不修正外观上的图象像素的位置地，在小块-小块比较方式下进行比较。在小块-小块比较方式中，在从芯片(A’)取得图象时，使芯片(A’)中的图形和上述像素的关系与芯片(A)中的图形和上述像素的关系一致。