公开(公告)号：CN103367372B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201310066905.4

申请日：2013-03-04

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 上村昌己 ,  宇家真司 ,  工藤知靖

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L31/02 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法，可增加固定电荷层中的电荷量。实施方式的固体拍摄装置具备受光部、第1电荷保持膜、第2电荷保持膜。受光部对入射光进行光电变换。第1电荷保持膜在受光部的入射光入射的面侧形成，保持电荷。第2电荷保持膜的氧含量比第1电荷保持膜高，在第1电荷保持膜的入射光入射的面侧形成，保持电荷。

公开(公告)号：CN103367372A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310066905.4

申请日：2013-03-04

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 上村昌己 ,  宇家真司 ,  工藤知靖

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L31/02 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法，可增加固定电荷层中的电荷量。实施方式的固体拍摄装置具备受光部、第1电荷保持膜、第2电荷保持膜。受光部对入射光进行光电变换。第1电荷保持膜在受光部的入射光入射的面侧形成，保持电荷。第2电荷保持膜的氧含量比第1电荷保持膜高，在第1电荷保持膜的入射光入射的面侧形成，保持电荷。