公开(公告)号：CN104040288B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201280066017.6

申请日：2012-12-10

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 山内康弘 ,  藤田隆

IPC: G01B21/20 ,  G01B5/20 ,  G01B5/28 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01B5/20 ,  G01B5/28 ,  G01B21/20 ,  G01B21/30

Abstract: 本发明公开一种轮廓形状表面粗糙度测定装置，其测定工件(W)的表面的轮廓形状和表面粗糙度，结构简单而能够低成本地实现，高分辨率地生成对宽测定范围具有高线性的变位信号。该轮廓形状表面粗糙度测定装置具备：测定部的测定元件(13)；进给机构(4)，其使工件相对于测定元件而相对地移动；臂(12)，其一端具有测定部，传递测定元件的变位，以支点(16)为中心转动；差动变压器型检测机构(51)和标尺型检测机构(52)，其安装在臂或与臂联动的位置，检测测定元件的变位。(13)，其具有与工件(W)的表面接触而上下变位

公开(公告)号：CN104040288A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280066017.6

申请日：2012-12-10

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 山内康弘 ,  藤田隆

IPC: G01B21/20 ,  G01B5/20 ,  G01B5/28 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01B5/20 ,  G01B5/28 ,  G01B21/20 ,  G01B21/30

Abstract: 本发明公开一种轮廓形状表面粗糙度测定装置，其测定工件(W)的表面的轮廓形状和表面粗糙度，结构简单而能够低成本地实现，高分辨率地生成对宽测定范围具有高线性的变位信号。该轮廓形状表面粗糙度测定装置具备：测定部(13)，其具有与工件(W)的表面接触而上下变位的测定元件(7)；进给机构(4)，其使工件相对于测定元件而相对地移动；臂(12)，其一端具有测定部，传递测定元件的变位，以支点(16)为中心转动；差动变压器型检测机构(51)和标尺型检测机构(52)，其安装在臂或与臂联动的位置，检测测定元件的变位。