公开(公告)号：CN113330277B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202080009482.0

申请日：2020-03-12

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 田村仁 ,  山形智生 ,  栗原健人 ,  外川阳一

IPC: G01B21/00 ,  B25J9/00 ,  G01B5/00

Abstract: 提供了具有提高的测量准确性和测量效率的三维测量系统和三维测量方法。该三维测量系统设置有平台18、机械臂50和探针22，所述机械臂被配置为保持待测量的工件W、并且改变所述工件W的姿态，所述探针被配置为能够相对于所述平台18移动、并且对所述工件W执行三维测量。

公开(公告)号：CN113330277A

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202080009482.0

申请日：2020-03-12

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 田村仁 ,  山形智生 ,  栗原健人 ,  外川阳一

IPC: G01B21/00 ,  B25J9/00 ,  G01B5/00

Abstract: 提供了具有提高的测量准确性和测量效率的三维测量系统和三维测量方法。该三维测量系统设置有平台18、机械臂50和探针22，所述机械臂被配置为保持待测量的工件W、并且改变所述工件W的姿态，所述探针被配置为能够相对于所述平台18移动、并且对所述工件W执行三维测量。