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公开(公告)号：CN100465330C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200480018486.6
申请日：2004-06-29
Applicant: 株式会社不二越
Abstract: 一种生产装置和方法，其通过熔融蒸发类型的离子电镀方法，生产含熔点差别很大的金属组分，例如TiAlN的多组分膜，该膜具有高的材料利用效率并提供良好的膜质量。为此，首先供应使材料(4)蒸发所要求的电功率，然后反复供应台阶式增加的电功率从第一电功率一直至达到所要求的最大电功率。此刻，进行等离子体控制，使等离子体(7)聚焦在蒸发该材料所要求的起始区域内，然后进行等离子体控制，连续并台阶式移动和膨胀等离子体从起始的等离子体区域到最大等离子体区域，使材料的未熔融部分逐渐熔融。
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公开(公告)号：CN1816643A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200480018580.1
申请日：2004-06-29
Applicant: 株式会社不二越
Abstract: 一种生产稳定装置和方法，其通过使用单一的坩埚(3)和聚焦的等离子体(7)，以高的材料利用效率和在良好的膜质量下生产含有熔点很大不同的金属组分，例如TiAlN的多组分膜。为此，首先供应使材料(4)蒸发所要求的电功率，然后反复供应台阶式增加的电功率从第一电功率一直至达到所要求的最大电功率。或者，进行等离子体控制，使等离子体(7)聚焦在蒸发该材料所要求的起始区域内，然后进行等离子体控制，连续并台阶式移动和膨胀等离子体从起始的等离子体区域到最大等离子体区域，使材料的未熔融部分(4b)逐渐熔融。该材料是烧结坯块或者未加工坯块(4)。
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公开(公告)号：CN1813079A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200480018486.6
申请日：2004-06-29
Applicant: 株式会社不二越
Abstract: 一种生产装置和方法，其通过熔融蒸发类型的离子电镀方法，生产含熔点差别很大的金属组分，例如TiAlN的多组分膜，该膜具有高的材料利用效率并提供良好的膜质量。为此，首先供应使材料(4)蒸发所要求的电功率，然后反复供应台阶式增加的电功率从第一电功率一直至达到所要求的最大电功率。此刻，进行等离子体控制，使等离子体(7)聚焦在蒸发该材料所要求的起始区域内，然后进行等离子体控制，连续并台阶式移动和膨胀等离子体从起始的等离子体区域到最大等离子体区域，使材料的未熔融部分逐渐熔融。
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