光学特性测量装置和光学式位移计

    公开(公告)号:CN1306256C

    公开(公告)日:2007-03-21

    申请号:CN200310104631.X

    申请日:2003-10-31

    CPC classification number: G01J1/4257

    Abstract: 本发明揭示一种光学特性测量装置和光学式位移计,可在测量入射激光的光学特性的光学特性测量装置和应用其原理的光学式位移计中,用简易的光学系统测量各种光学特性。其中光学特性测量装置(1A)具有半导体激光发光元件产生的激光(LO)以利用准直透镜形成平行光的状态入射的开口(11)、配置在此开口(11)的出射光路由上的并且由棱镜组成的分光器(12)、接收此棱镜(12)的透射反射膜透射出来的光的第1位置检测元件(21)(第1面状光检测器)和接收棱镜(12)的透射反射膜反射出来的光的第2位置检测元件(22)(第2面状光检测器)。

    光学特性测量装置和光学式位移计

    公开(公告)号:CN1499185A

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN200310104631.X

    申请日:2003-10-31

    CPC classification number: G01J1/4257

    Abstract: 本发明揭示一种光学特性测量装置和光学式位移计,可在测量入射激光的光学特性的光学特性测量装置和应用其原理的光学式位移计中,用简易的光学系统测量各种光学特性。其中光学特性测量装置(1A)具有半导体激光发光元件产生的激光(L0)以利用准直透镜形成平行光的状态入射的开口(11)、配置在此开口(11)的出射光路由上的并且由棱镜组成的分光器(12)、接收此棱镜(12)的透射反射膜透射出来的光的第1位置检测元件(21)(第1面状光检测器)和接收棱镜(12)的透射反射膜反射出来的光的第2位置检测元件(22)(第2面状光检测器)。

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