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公开(公告)号：CN101900578A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200910253084.9
申请日：2009-09-30
申请人： 株式会社三丰
发明人： 阿夫伦·兹维林 , 约瑟夫·丹尼尔·托拜森 , 斯科特·哈西拉 , 卡尔·古斯塔夫·马斯雷莱兹
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/34723 , G01D5/268 , G01D5/34746 , G01D5/366
摘要： 提供一种用于利用光纤光学接收器通道的干涉测量微型光栅编码器读取头的参考信号产生构造。该读取头包括“主”光纤，该主光纤提供被处理以产生具有大约0.2微米精度的参考信号的参考标记主信号。该读取头可以包括“副”光纤，该“副”光纤用于产生被处理以产生具有大约20纳米精度的参考信号的参考标记副信号。被构造用于副光纤光学接收器通道的空间过滤掩膜提供源自于主光纤光学接收器通道的接收区域之外的干涉条纹的两个空间周期性副信号。副信号彼此异相，并且它们的空间频率高于主信号的空间频率。参考标记副信号的信号交叉点被识别为空间地邻近参考标记主参考信号的信号交叉点。
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公开(公告)号：CN101769717B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN200910138110.3
申请日：2009-04-30
申请人： 株式会社三丰
发明人： 埃里克·H·阿尔滕多夫 , 斯科特·哈西拉 , 马修·D·沃森
CPC分类号： G01B11/0608 , G01J1/0242 , G01J1/0411 , G01N21/8806 , G02B7/32 , G02B7/36 , G02B21/245 , G02B27/0075
摘要： 本发明提供了一种扩大范围的聚焦传感器。所述聚焦传感器包括中继透镜组件以将物镜和所述中继透镜装置之间的平面成像到邻近所述聚焦传感器的聚焦检测装置的入射光孔的平面。在一些实施例中，所述物镜光孔被成像在所述聚焦检测器入射光孔上。在一些实施例中，照明光束穿过所述中继透镜装置并在其通道上被放大以便由所述物镜输出，并且所述反射聚焦检测光束回穿过所述物镜和所述中继透镜装置，并在被输入到所述聚焦检测装置之前被减小。在一些实施例中，所述聚焦检测装置可以包含与高分辨率的Shack-Hartmann聚焦检测器结合的较宽范围的聚焦检测器，以及在其他的实施例中使用了单个延伸范围的Shack-Hartmann聚焦检测器。
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公开(公告)号：CN101900578B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN200910253084.9
申请日：2009-09-30
申请人： 株式会社三丰
发明人： 阿夫伦·兹维林 , 约瑟夫·丹尼尔·托拜森 , 斯科特·哈西拉 , 卡尔·古斯塔夫·马斯雷莱兹
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/34723 , G01D5/268 , G01D5/34746 , G01D5/366
摘要： 本发明提供一种用于利用光纤光学接收器通道的干涉测量微型光栅编码器读取头的参考信号产生构造。该读取头包括“主”光纤，该主光纤提供被处理以产生具有大约0.2微米精度的参考信号的参考标记主信号。该读取头可以包括“副”光纤，该“副”光纤用于产生被处理以产生具有大约20纳米精度的参考信号的参考标记副信号。被构造用于副光纤光学接收器通道的空间过滤掩膜提供源自于主光纤光学接收器通道的接收区域之外的干涉条纹的两个空间周期性副信号。副信号彼此异相，并且它们的空间频率高于主信号的空间频率。参考标记副信号的信号交叉点被识别为空间地邻近参考标记主参考信号的信号交叉点。
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公开(公告)号：CN101769717A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910138110.3
申请日：2009-04-30
申请人： 株式会社三丰
发明人： 埃里克·H·阿尔滕多夫 , 斯科特·哈西拉 , 马修·D·沃森
CPC分类号： G01B11/0608 , G01J1/0242 , G01J1/0411 , G01N21/8806 , G02B7/32 , G02B7/36 , G02B21/245 , G02B27/0075
摘要： 本发明提供了一种扩大范围的聚焦传感器。所述聚焦传感器包括中继透镜组件以将物镜和所述中继透镜装置之间的平面成像到邻近所述聚焦传感器的聚焦检测装置的入射光孔的平面。在一些实施例中，所述物镜光孔被成像在所述聚焦检测器入射光孔上。在一些实施例中，照明光束穿过所述中继透镜装置并在其通道上被放大以便由所述物镜输出，并且所述反射聚焦检测光束回穿过所述物镜和所述中继透镜装置，并在被输入到所述聚焦检测装置之前被减小。在一些实施例中，所述聚焦检测装置可以包含与高分辨率的Shack-Hartmann聚焦检测器结合的较宽范围的聚焦检测器，以及在其他的实施例中使用了单个延伸范围的Shack-Hartmann聚焦检测器。
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