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公开(公告)号：CN102007579B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200980113462.1
申请日：2009-03-25
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C11D7/02 , C11D3/02 , C11D11/0047 , H01L21/02052
Abstract: 本发明提供一种发挥与以往的溶气水相比格外高的清洗效果的电子材料用清洗水。其是包含含有氧及氩作为溶解气体的溶气水的电子材料用清洗水，其中，溶解氧浓度为8mg/L以上，含有相对于溶解氧气量及溶解氩气量的合计量为2体积％以上的溶解氩气。本发明还提供使用该电子材料用清洗水清洗电子材料的方法。包含溶解氧/氩气的水的本发明的电子材料用清洗水，即使溶解气体量少或使用的化学品量少，也可以得高清洗效果，因此可以安全容易且价格低廉地制造。
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公开(公告)号：CN102007579A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980113462.1
申请日：2009-03-25
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B3/08 , C11D7/02 , C11D17/08 , G02F1/13 , G02F1/1333 , G03F1/08
CPC classification number: C11D7/02 , C11D3/02 , C11D11/0047 , H01L21/02052
Abstract: 本发明提供一种发挥与以往的溶气水相比格外高的清洗效果的电子材料用清洗水。其是包含含有氧及氩作为溶解气体的溶气水的电子材料用清洗水，其中，溶解氧浓度为8mg/L以上，含有相对于溶解氧气量及溶解氩气量的合计量为2体积％以上的溶解氩气。本发明还提供使用该电子材料用清洗水清洗电子材料的方法。包含溶解氧/氩气的水的本发明的电子材料用清洗水，即使溶解气体量少或使用的化学品量少，也可以得高清洗效果，因此可以安全容易且价格低廉地制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101401193B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200780008420.2
申请日：2007-03-12
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B01D19/00 , B01F1/00 , B08B3/08
CPC classification number: C02F1/70 , B01D19/0036 , B01F3/04269 , B01F2003/04404 , B01F2003/04914 , B08B3/12 , B08B9/0321 , C01B3/501 , C01B2203/0405 , C01B2203/0495 , C02F1/444 , C11D3/0052 , H01L21/67057
Abstract: 本发明涉及一种将特定气体溶解于水中的气体溶解洗涤水的制造方法，其特征在于在超过大气压的加压下，将特定气体溶解于水中，形成大气压下的溶解度以上的浓度的气体溶解水，接着减小气体溶解水的压力，去除溶解气体的一部分；一种气体溶解洗涤水的制造装置，该装置包括气体溶解装置(14)，其在超过大气压的加压下将特定气体溶解于水中；气体部分去除装置(15)，其将来自气体溶解装置的气体溶解水减小到低于气体溶解时的压力，去除溶解气体的一部分；采用该气体溶解洗涤水的洗涤装置。不采用真空泵等的减压机构，可安全地制造所需的气体浓度的气体溶解洗涤水，可再利用使用完的气体溶解洗涤水的水和特定气体，可适用于必须要求高度的清洁度的电子部件等的洗涤。
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公开(公告)号：CN1929930A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580008074.9
申请日：2005-03-14
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: B08B3/08 , B01F1/00 , C02F1/68 , H01L21/304
CPC classification number: B01F1/00 , B08B3/08 , B08B3/10 , C02F1/68 , H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及一种循环式气体溶解水供给装置和该装置的运转方法。该装置包括制造特定的气体溶解水的溶解装置(A)；贮存气体溶解水的水槽(B)；将溶解装置(A)和水槽(B)连接的连接配管(C)；送出水槽(B)的贮存水的泵(D)；将水从水槽(B)经过泵(D)和清洗机的分支点，返回到水槽(B)的循环配管(E)；将气体供给水槽(B)的顶部空间的气体配管(F)，上述配管(C)和配管(E)的底端淹没于水槽(B)内的水面之下。通过本发明，可将清洗机未使用的气体溶解水返回到水槽，将溶解于气体溶解水中的特定的气体的浓度维持在一定值以上，将贮存气体溶解水的水槽的顶部空间的特定的气体的浓度保持在较低程度。
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公开(公告)号：CN102105408A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980129136.X
申请日：2009-07-27
Applicant: 栗田工业株式会社
Inventor： 床岛裕人
CPC classification number: C02F1/725 , B01D19/0031 , B01D2311/13 , B01J23/42 , B01J35/0013 , B01J37/16 , C02F1/20 , C02F1/70 , C02F1/727 , C02F2001/422 , C02F2001/425 , C02F2101/30 , C02F2103/04 , C02F2305/08
Abstract: 打开开关阀（1a）、（5a），关闭开关阀（3a）、（12a），将原水流通到原水供给配管（1）内。打开氧供给配管（2）的开关阀（2a），对原水供给配管（1）内的原水供给氧。含有有机物及氧的原水通过原水供给配管（1）流入到催化剂填充柱（4），与吸附有氢的铂族金属催化剂（4a）接触。由此，使原水中的有机物与铂族金属催化剂（4a）在溶解氧和吸附于金属催化剂的氢的存在下接触，因此，能以低耗能、简单且高效率地除去被处理水中的有机物。
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公开(公告)号：CN101970137A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980110111.5
申请日：2009-03-13
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: B08B3/08 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供可以高效率地制造高浓度的溶气水、并将其循环供给使用地点的溶气水供给系统。用溶有气体(氧)的水清洗被清洗物后的废水(清洗废水)经由配管15积存在贮留槽1中，再经由补给水配管1a向贮留槽1中供给补给水。贮留槽1内的水经由压送泵2和用于保持水温恒定的热交换器3输送到纯化装置4中。通过纯化装置4除去了杂质的水经由流量计5输送到脱气装置6中。之后，通过气体溶解装置7溶解气体，添加药品后供给使用地点。
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公开(公告)号：CN101401193A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200780008420.2
申请日：2007-03-12
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B01D19/00 , B01F1/00 , B08B3/08
CPC classification number: C02F1/70 , B01D19/0036 , B01F3/04269 , B01F2003/04404 , B01F2003/04914 , B08B3/12 , B08B9/0321 , C01B3/501 , C01B2203/0405 , C01B2203/0495 , C02F1/444 , C11D3/0052 , H01L21/67057
Abstract: 本发明涉及一种将特定气体溶解于水中的气体溶解洗涤水的制造方法，其特征在于在超过大气压的加压下，将特定气体溶解于水中，形成大气压下的溶解度以上的浓度的气体溶解水，接着减小气体溶解水的压力，去除溶解气体的一部分；一种气体溶解洗涤水的制造装置，该装置包括气体溶解装置(14)，其在超过大气压的加压下将特定气体溶解于水中；气体部分去除装置(15)，其将来自气体溶解装置的气体溶解水减小到低于气体溶解时的压力，去除溶解气体的一部分；采用该气体溶解洗涤水的洗涤装置。不采用真空泵等的减压机构，可安全地制造所需的气体浓度的气体溶解洗涤水，可再利用使用完的气体溶解洗涤水的水和特定气体，可适用于必须要求高度的清洁度的电子部件等的洗涤。
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