波长转换装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110800175B

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN201780092681.0

    申请日:2017-08-22

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 波长转换装置具有:A.晶体保持器,其对非线性晶体进行保持,该非线性晶体对所入射的激光进行波长转换而出射;B.第一容器,其收纳晶体保持器,包含入射窗口和出射窗口,其中,该入射窗口设置在向非线性晶体入射的激光的光路上,该出射窗口设置在从非线性晶体出射的激光的光路上;C.第二容器,其收纳第一容器;D.位置调整机构,其进行至少所述第一容器的位置调整;以及E.隔离机构,其将入射窗口和出射窗口在空间上与位置调整机构进行隔离。

    波长转换系统、激光系统和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN114174913A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN201980098874.6

    申请日:2019-09-13

    IPC分类号: G02F1/37

    摘要: 本公开的一个观点的波长转换系统具有保持第1非线性晶体的第1晶体保持架、保持第2非线性晶体的第2晶体保持架、保持第3非线性光学晶体的第3晶体保持架、以及收纳它们的容器。在容器设置有入射窗口和出射窗口,在从入射窗口向出射窗口行进的激光的光路上,按照第1非线性晶体、第2非线性晶体、第3非线性晶体的顺序配置有第1非线性晶体、第2非线性晶体、第3非线性晶体。各晶体保持架能够旋转,第1晶体保持架的旋转轴即第1旋转轴和第2晶体保持架的旋转轴即第2旋转轴正交,第3晶体保持架的旋转轴即第3旋转轴与第1旋转轴平行。

    光隔离器、紫外线激光装置以及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN117441124A

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202180098985.4

    申请日:2021-07-15

    发明人: 渊向笃

    IPC分类号: G02B27/28 H01S3/225 H01S3/02

    摘要: 本公开的一个观点的光隔离器具备:壳体;第1偏振片,其以使紫外线波长的线偏振的入射光透过的方式配置在壳体内;第1法拉第转子,其配置于壳体内,具有第1法拉第材料和第1磁铁,第1法拉第材料使透过第1偏振片的光的偏振方向在第1旋转方向上旋转,第1磁铁在配置有第1法拉第材料的第1磁场产生区域产生第1磁场;以及第1位置调整机构,其使第1法拉第材料相对于壳体相对移动。与透过第1法拉第材料的光的光轴垂直的截面中的、第1法拉第材料的截面形状和第1磁场产生区域的截面形状是具有相同方向的长轴的形状。第1位置调整机构使第1法拉第材料在与长轴垂直的短轴方向上移动。

    波长转换装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110800175A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201780092681.0

    申请日:2017-08-22

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 波长转换装置具有:A.晶体保持器,其对非线性晶体进行保持,该非线性晶体对所入射的激光进行波长转换而出射;B.第一容器,其收纳晶体保持器,包含入射窗口和出射窗口,其中,该入射窗口设置在向非线性晶体入射的激光的光路上,该出射窗口设置在从非线性晶体出射的激光的光路上;C.第二容器,其收纳第一容器;D.位置调整机构,其进行至少所述第一容器的位置调整;以及E.隔离机构,其将入射窗口和出射窗口在空间上与位置调整机构进行隔离。

    紫外线激光装置及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN117426029A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202180098972.7

    申请日:2021-07-26

    发明人: 渊向笃

    IPC分类号: H01S3/10

    摘要: 本公开的一个观点的紫外线激光装置具备:振荡级激光器,其输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光;光隔离器,其配置在与放大并输出脉冲激光的放大器之间的光路上;以及处理器。光隔离器包括:第1偏振片;第1法拉第转子,其使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向在第1旋转方向上旋转;第2偏振片,其被配置为使从第1法拉第转子输出的脉冲激光透过;第1致动器,其使第1法拉第转子的第1磁铁和第1法拉第材料在光轴方向上相对移动;以及第1传感器,其对从振荡级激光器输出的脉冲激光中的、被第2偏振片反射后的脉冲激光的功率进行测量,处理器基于第1传感器的测量结果来控制第1致动器。

    波长转换装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109313372B

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN201680086583.1

    申请日:2016-07-08

    发明人: 渊向笃

    IPC分类号: G02F1/37

    摘要: 一种波长转换装置,其具有至少1个移动装置,该移动装置包括:A.晶体保持架,其对非线性晶体进行保持,该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出该激光;以及B.驱动部,其包括音圈马达,该驱动部使所述晶体保持架至少向与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向移动。另外,驱动部使晶体保持架旋转以变更激光向非线性晶体入射的入射角度。驱动部包括:二维驱动部,其被构成为包括平面型音圈马达,以及一维驱动部,其被构成为包括圆筒型音圈马达。二维驱动部进行如下驱动:与第1方向正交的第2方向上的直线驱动,以及以与第1方向和第2方向正交的第3方向为中心的旋转驱动。一维驱动部进行第3方向上的直线驱动。

    激光装置、光路调整方法和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN118451613A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202280086526.9

    申请日:2022-02-08

    发明人: 渊向笃 铃木徹

    IPC分类号: H01S3/086 H01S3/00 H01S3/083

    摘要: 本公开的一个观点的激光装置具有:振荡器,其射出激光;放大器,其在包含一对放电电极的腔内对激光进行放大;前侧光学系统和后侧光学系统,它们被配置于隔着腔对置的位置,构成环形谐振器,该环形谐振器包含在一对放电电极之间交叉的第1光路和第2光路;前侧观察装置,其用于观察前侧光学系统与腔之间的第1光路和第2光路;以及后侧观察装置,其用于观察后侧光学系统与腔之间的第1光路和第2光路。第1光路是前侧光学系统朝向后侧光学系统射出从振荡器入射的激光的光路。第2光路是后侧光学系统朝向前侧光学系统射出经由第1光路入射的激光的光路。

    波长转换装置、固体激光器系统和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN114174912A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN201980098873.1

    申请日:2019-09-13

    IPC分类号: G02F1/37 H01S3/108

    摘要: 本公开的一个观点的波长转换装置使光通过非线性晶体而进行波长转换,其中,该波长转换装置具有:第1非线性晶体;容器,其收纳第1非线性晶体;晶体保持部件,其被设置于容器的内部,固定第1非线性晶体;第1窗口,其被设置于容器,从容器的外部向第1非线性晶体引导光;第2窗口,其被设置于容器,将来自第1非线性晶体的输出光引导至容器的外部;第1加热器,其被设置于容器的内部,对第1非线性晶体进行加热;电池,其向第1加热器供给电力;以及第1控制器,其控制针对第1加热器的电力供给。

    激光系统和电子器件的制造方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114174911A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN201980098857.2

    申请日:2019-09-13

    发明人: 渊向笃 曲晨

    IPC分类号: G02F1/37 H01S3/108

    摘要: 本公开的一个观点的激光系统配置有:第1容器,其收纳保持第1非线性晶体的第1晶体保持架和第1加热器,包含供激光入射的第1入射窗口和供通过第1非线性晶体后的激光出射的第1出射窗口;第2容器,其收纳保持第2非线性晶体的第2晶体保持架和第2加热器,包含供激光入射的第2入射窗口和供通过第2非线性晶体后的激光出射的第2出射窗口;以及载台,其保持第1容器和第2容器。控制器控制载台,使第1非线性晶体从激光的光路上脱离,使第2非线性晶体插入到激光的光路上。

    波长转换装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109313372A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201680086583.1

    申请日:2016-07-08

    发明人: 渊向笃

    IPC分类号: G02F1/37

    摘要: 一种波长转换装置,其具有至少1个移动装置,该移动装置包括:A.晶体保持架,其对非线性晶体进行保持,该非线性晶体对入射的激光进行波长转换并输出该激光;以及B.驱动部,其包括音圈马达,该驱动部使所述晶体保持架至少向与作为所述激光的光路轴方向的第1方向正交的方向移动。另外,驱动部使晶体保持架旋转以变更激光向非线性晶体入射的入射角度。驱动部包括:二维驱动部,其被构成为包括平面型音圈马达,以及一维驱动部,其被构成为包括圆筒型音圈马达。二维驱动部进行如下驱动:与第1方向正交的第2方向上的直线驱动,以及以与第1方向和第2方向正交的第3方向为中心的旋转驱动。一维驱动部进行第3方向上的直线驱动。