本公开的一个观点的紫外线激光装置具备：振荡级激光器，其输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光；光隔离器，其配置在与放大并输出脉冲激光的放大器之间的光路上；以及处理器。光隔离器包括：第1偏振片；第1法拉第转子，其使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向在第1旋转方向上旋转；第2偏振片，其被配置为使从第1法拉第转子输出的脉冲激光透过；第1致动器，其使第1法拉第转子的第1磁铁和第1法拉第材料在光轴方向上相对移动；以及第1传感器，其对从振荡级激光器输出的脉冲激光中的、被第2偏振片反射后的脉冲激光的功率进行测量，处理器基于第1传感器的测量结果来控制第1致动器。