微气泡清洗装置和微气泡清洗方法

    公开(公告)号:CN109564861B

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201780046445.5

    申请日:2017-07-28

    摘要: 在清洗半导体、电子器件时想要利用微气泡,但由于微气泡长期间稳定地存在,因此有时在被清洗物的表面微气泡不高效地发生破裂。微气泡清洗装置的特征在于,具有:微气泡产生装置,其使清洗液中产生微气泡,来生成气泡清洗液;气泡自发破裂装置,其使所述气泡清洗液中的所述微气泡的寿命缩短,来生成短寿命气泡清洗液;以及清洗槽,其用于使所述短寿命气泡清洗液与被清洗物接触,所述微气泡清洗装置预先将微气泡的寿命设定得短,因此在微气泡到达被清洗物时使微气泡自发破裂,来提高清洗力。

    微气泡清洗装置和微气泡清洗方法

    公开(公告)号:CN109564861A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201780046445.5

    申请日:2017-07-28

    摘要: 在清洗半导体、电子器件时想要利用微气泡,但由于微气泡长期间稳定地存在,因此有时在被清洗物的表面微气泡不高效地发生破裂。微气泡清洗装置的特征在于,具有:微气泡产生装置,其使清洗液中产生微气泡,来生成气泡清洗液;气泡自发破裂装置,其使所述气泡清洗液中的所述微气泡的寿命缩短,来生成短寿命气泡清洗液;以及清洗槽,其用于使所述短寿命气泡清洗液与被清洗物接触,所述微气泡清洗装置预先将微气泡的寿命设定得短,因此在微气泡到达被清洗物时使微气泡自发破裂,来提高清洗力。