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公开(公告)号:CN101432627A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200780015491.5
申请日:2007-04-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 电容式传感器(1)包括固定电极(6)和通过梁部分(4)由支座部分(3)可动支撑的可动电极(5)。固定电极(6)和可动电极(5)彼此相对,在其间夹有间隙,从而组成检测单元。检测适合间隙的尺寸的电容,以检测预定的物理值。连接到支座部分(3)的梁部分(4)的端部(4a)和连接到可动电极(5)的梁部分(4)的端部(4b)的至少之一设置有调节应力的应力调节单元(30)。