公开(公告)号：CN100554970C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200680000185.X

申请日：2006-01-20

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 福田纯久 ,  境浩司 ,  石上敦史 ,  古久保英一 ,  饭井良介 ,  矢岛孝志

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/08 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明涉及一种半导体加速度传感器，其具有形成为用于包围锤部的大致为L形梁部，其中两个细长的L形梁部形成为包围着俯视时所示的并构成锤部的正方形部，在靠近所述梁部的基端部的位置处形成有从固定部朝向锤部突出的凸出部和从锤部朝向固定部突出的包围该凸出部的容置凹入部。凸出部的外部形状与容置凹入部的内壁表面基本相同，以便由于容置凹入部容置凸出部而使锤部在垂直于上下方向的水平方向中的任一方向上的运动均受到限制，在该凸出部的底部中形成有开口。因此，即使当对加速度传感器施加侧向冲击时，也能显著地防止锤部运动，从而防止过大的应力施加于梁部而使梁部破损。

公开(公告)号：CN1942768A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200680000185.X

申请日：2006-01-20

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 福田纯久 ,  境浩司 ,  石上敦史 ,  古久保英一 ,  饭井良介 ,  矢岛孝志

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/08 ,  G01P2015/0871

Abstract: 一种半导体加速度传感器，其具有形成为用于包围锤部的大致为L形梁部，其中两个细长的L形梁部形成为包围着俯视时所示的并构成锤部的正方形部，在靠近所述梁部的基端部的位置处形成有从固定部朝向锤部突出的凸出部和从锤部朝向固定部突出的包围该凸出部的容置凹入部。凸出部的外部形状与容置凹入部的内壁表面基本相同，以便由于容置凹入部容置凸出部而使锤部在垂直于上下方向的水平方向中的任一方向上的运动均受到限制。因此，即使当对加速度传感器施加侧向冲击时，也能显著地防止锤部运动，从而防止过大的应力施加于梁部而使梁部破损。