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发明公开
等离子体处理装置无效转让

公开(公告)号：CN101959361A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010229204.4

申请日：2010-07-13

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 中园佳幸 , 弓削政郎

IPC: H05H1/24 , H05H1/28

Abstract: 一种等离子体处理装置(A)，穿设有与包覆电极(3)及散热器(6)连通的定位用孔(B)。将螺栓(71)插通在该定位用孔(B)中，借此来正确且容易地实现包覆电极(3)的定位。另外，将螺旋弹簧(73)配设在螺栓(71)的头部(71a)与散热器(6)之间。借此，可使头部(71a)与散热器(6)之间具有由螺旋弹簧(73)的弹性力引起的余隙，从而可有包覆电极(3)进行变形的余地。

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