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公开(公告)号：CN101923060B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201010200538.9
申请日：2010-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1276577A
公开(公告)日：2000-12-13
申请号：CN00108792.4
申请日：2000-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G06K9/20
CPC classification number: G06T7/0006 , G06T7/001 , G06T2207/30141 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明揭示一种图案缺陷检测方法,是在这种预先登记正品图案,并对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中,比较正品图案和对象图案,检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案,并利用缺陷图案的轮廓线特征,分类检测缺陷图案。本发明提供能对各种图案缺陷进行分类并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。
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公开(公告)号：CN1187808C
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN00108792.4
申请日：2000-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G06T7/0006 , G06T7/001 , G06T2207/30141 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明揭示一种图案缺陷检测方法，是在这种预先登记正品图案，并对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中，比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案。本发明提供能对各种图案缺陷进行分类并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。
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公开(公告)号：CN101852744B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010157972.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种可以缩短对检查被检查物的图案而求出的缺陷进行再检查的复查动作的时间的拍摄检查装置。具有：使被检查物(109)与拍摄扫描被检查物(109)以检测缺陷的检查光学系统(103)在X方向相对移动的检查光学系统移动机构(107)；使被检查物和仅拍摄缺陷的周边的复查光学系统(104)在X方向相对移动、并使检查光学系统(103)与复查光学系统(104)在与X方向垂直的Y方向相对移动的复查光学系统移动机构(105)；以及使检查光学系统移动机构(107)和复查光学系统移动机构(105)运转的控制机构(300)，控制机构(300)在检查光学系统(103)的拍摄扫描中，控制复查光学系统(104)，使其对缺陷的周边进行拍摄。
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公开(公告)号：CN101923060A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010200538.9
申请日：2010-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。
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公开(公告)号：CN101852744A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010157972.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种可以缩短对检查被检查物的图案而求出的缺陷进行再检查的复查动作的时间的拍摄检查装置。具有：使被检查物(109)与拍摄扫描被检查物(109)以检测缺陷的检查光学系统(103)在X方向相对移动的检查光学系统移动机构(107)；使被检查物和仅拍摄缺陷的周边的复查光学系统(104)在X方向相对移动、并使检查光学系统(103)与复查光学系统(104)在与X方向垂直的Y方向相对移动的复查光学系统移动机构(105)；以及使检查光学系统移动机构(107)和复查光学系统移动机构(105)运转的控制机构(300)，控制机构(300)在检查光学系统(103)的拍摄扫描中，控制复查光学系统(104)，使其对缺陷的周边进行拍摄。
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