公开(公告)号：CN1243244A

公开(公告)日：2000-02-02

申请号：CN99110451.X

申请日：1999-07-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 池田雅春 ,  江刺正喜

IPC: G01L9/12 ,  H01L27/02

CPC classification number: G01D5/2417

Abstract: 在半导体基底的前表面上形成了一个保护电极且经过一个绝缘层在保护电极上形成了一个固定电极。借助一个隔膜在固定电极上形成了一个腔,且在这些隔膜层之间形成了一个运动电极。形成了从基底的后表面延伸并到达腔的一个基底通孔。提供了一个运算放大器,它驱动保护电极从而使保护电极的电位与固定电极的电位相等。固定电极与运动电极之间的电容的改变被转换成与隔膜的位移直接相关的电压。

公开(公告)号：CN1145219C

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN99110158.8

申请日：1999-06-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 池田雅春 ,  江刺正喜

IPC: H01L29/84

CPC classification number: H04R31/00 ,  H04R19/00 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R31/003

Abstract: 本发明涉及一种用于将施加于隔膜的静压或动压转换成相应电信号的压力转换器及其制造方法。该转换器包括一形成在一基板上表面上的固定电极和一通过一空腔设置在固定电极上方的可动电极。在基板的底部形成有至少一个孔，借助干腐蚀法，利用该孔，可以在制造过程去除介于隔膜和基板上表面之间的牺牲层，从而形成所述空腔。

公开(公告)号：CN1247386A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：CN99110158.8

申请日：1999-06-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 池田雅春 ,  江刺正喜

IPC: H01L29/84

CPC classification number: H04R31/00 ,  H04R19/00 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R31/003

Abstract: 本发明涉及一种用于将施加于隔膜的静压或动压转换成相应电信号的压力转换器及其制造方法。该转换器包括一形成在一基板上表面上的固定电极和一通过一空腔设置在固定电极上方的可动电极。在基板的底部形成有至少一个孔,借助干腐蚀法,利用该孔,可以在制造过程去除介于隔膜和基板上表面之间的牺牲层,从而形成所述空腔。

公开(公告)号：CN1141564C

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN99110451.X

申请日：1999-07-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 池田雅春 ,  江刺正喜

IPC: G01L9/12 ,  H01L27/02

CPC classification number: G01D5/2417

Abstract: 在半导体基底的前表面上形成了一个保护电极且经过一个绝缘层在保护电极上形成了一个固定电极。借助一个隔膜在固定电极上形成了一个腔，且在这些隔膜层之间形成了一个运动电极。形成了从基底的后表面延伸并到达腔的一个基底通孔。提供了一个运算放大器，它驱动保护电极从而使保护电极的电位与固定电极的电位相等。固定电极与运动电极之间的电容的改变被转换成与隔膜的位移直接相关的电压。