磁致电阻效应元件及其制造方法和使用方法

    公开(公告)号:CN1682386A

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN03821294.3

    申请日:2003-09-12

    Abstract: 提供一种磁致电阻效应元件及其制造方法和使用方法,该磁致电阻效应元件包括:在基板(1)上的一部分上,把磁性薄膜与金属非磁性薄膜交替地层叠两层或更多层,以预定的图形形状形成的金属人工晶格膜(4);覆盖金属人工晶格膜(4)而形成的第一保护膜(5);以及在第一保护膜(5)上形成的第二保护膜(6),第一保护膜(5)的残余应力实质上为零,第二保护膜(6)由具有阻止水分透过能力的材料构成。由此,能够实现即使在高温状态下也不产生磁滞、特性不劣化、耐热性和耐蚀性方面良好的磁致电阻效应元件,在汽车用等苛刻的环境中也能够适用。

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