公开(公告)号：CN101861636A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200980100860.X

申请日：2009-11-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 瓜生英一 ,  谷口基浩 ,  村社智宏 ,  大谷俊哉 ,  山本聪治 ,  藤原俊明 ,  濑濑井严士 ,  松原功幸

IPC: H01J9/02 ,  G03F9/00 ,  H01J11/02

CPC classification number: G03F7/70791 ,  G03F9/7084 ,  H01J9/241 ,  H01J11/12

Abstract: 一种平板显示器的制造方法，具有：在基板上形成感光性膜的工序、利用曝光掩模(41)曝光感光性膜来形成对准标记(51)的工序、和以显影感光性膜前的状态识别对准标记(51)来进行对位的工序。从而，不用改造制造线、也不会较大增加工时、能简单形成具有高精度及良好视认性的对准标记、进而能低成本地制造生产率好的平板显示器。