公开(公告)号：CN101351871A

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200680050274.5

申请日：2006-11-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 广岛满 ,  朝仓浩海 ,  渡边彰三 ,  奥根充弘 ,  铃木宏之 ,  宝珍隆三

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32082

Abstract: 等离子体处理装置具备配置于与基板(2)对置的腔室(3)的上部开口的梁状间隔件(7)。梁状间隔件(7)具备：由腔室(3)支撑其下表面(7d)的环状外周部(7a)；在俯视的情况下位于由外周部(7a)包围的区域的中央的中央部(7b)；从中央部(7b)以放射状延伸至外周部(7a)的多个梁部(7c)。电介体板(8)被梁状间隔件(7)均一地支撑其整体。能够确保将腔室(3)内减压时用于支撑大气压的机械强度，同时，能够薄型化电介体板(8)。

公开(公告)号：CN101351871B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200680050274.5

申请日：2006-11-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 广岛满 ,  朝仓浩海 ,  渡边彰三 ,  奥根充弘 ,  铃木宏之 ,  宝珍隆三

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32082

Abstract: 等离子体处理装置具备配置于与基板(2)对置的腔室(3)的上部开口的梁状间隔件(7)。梁状间隔件(7)具备：由腔室(3)支撑其下表面(7d)的环状外周部(7a)；在俯视的情况下位于由外周部(7a)包围的区域的中央的中央部(7b)；从中央部(7b)以放射状延伸至外周部(7a)的多个梁部(7c)。电介体板(8)被梁状间隔件(7)均一地支撑其整体。能够确保将腔室(3)内减压时用于支撑大气压的机械强度，同时，能够薄型化电介体板(8)。