圆棒的表面缺陷检查方法及表面缺陷检查装置

    公开(公告)号:CN114072668A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN201980097928.7

    申请日:2019-06-28

    Inventor: 山下胜俊

    Abstract: 提供能够高精度地检测在长度方向上连续的缺陷的圆棒的表面缺陷检查方法及表面缺陷检查装置。将判定区域的代表缺陷信号的高度成为比第一判定基准值低的第二判定基准值以上的判定区域设为第一区域,将判定区域的代表缺陷信号的高度成为第二判定值以上且周向位置与第一区域相等的判定区域设为第二区域,将第一区域与第二区域之间的判定区域设为第三区域。在第一~第三区域的判定区域的数量为规定数以上的情况且在下述情况中的至少一方的情况下,判定为在第一~第三区域的判定区域中存在缺陷:第三区域的判定区域的代表缺陷信号小于第二判定基准值且成为第三判定基准值以上的情况;以及,第三区域的长度方向上的判定区域的数量成为第一区域及第二区域中的至少一方的长度方向上的判定区域的数量以下的情况。

    圆棒的表面缺陷检查方法及表面缺陷检查装置

    公开(公告)号:CN114072668B

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN201980097928.7

    申请日:2019-06-28

    Inventor: 山下胜俊

    Abstract: 提供能够高精度地检测在长度方向上连续的缺陷的圆棒的表面缺陷检查方法及表面缺陷检查装置。将判定区域的代表缺陷信号的高度成为比第一判定基准值低的第二判定基准值以上的判定区域设为第一区域,将判定区域的代表缺陷信号的高度成为第二判定值以上且周向位置与第一区域相等的判定区域设为第二区域,将第一区域与第二区域之间的判定区域设为第三区域。在第一~第三区域的判定区域的数量为规定数以上的情况且在下述情况中的至少一方的情况下,判定为在第一~第三区域的判定区域中存在缺陷:第三区域的判定区域的代表缺陷信号小于第二判定基准值且成为第三判定基准值以上的情况;以及,第三区域的长度方向上的判定区域的数量成为第一区域及第二区域中的至少一方的长度方向上的判定区域的数量以下的情况。

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