X射线衍射装置以及X射线衍射测量方法

    公开(公告)号:CN105960590B

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201580007179.6

    申请日:2015-01-30

    Abstract: 作为本发明的一个方式的X射线衍射装置(1)包括:测量单元(2),其测量被检试样(16)的X射线衍射强度分布;距离测量部(9),其测量被检试样(16)与测量单元(2)之间的间隔距离(Z);以及数据处理部(10),其对X射线衍射强度分布进行校正处理。测量单元(2)具有:X射线照射部(3),其对被检试样(16)照射X射线;X射线检测部(6),其对来自被检试样(16)的多条衍射X射线进行一维检测或者二维检测;以及框体(8),其使X射线照射部(3)以及X射线检测部(6)相对于基准面(17)相对固定地配置。数据处理部(10)基于间隔距离(Z)来计算被检试样(16)的位移(ΔZ),根据计算出的位移(ΔZ),来计算被检试样(16)的测量点处的真实X射线衍射角(2θ),并基于计算出的真实X射线衍射角(2θ),来校正X射线衍射强度分布。

    X射线衍射装置以及X射线衍射测量方法

    公开(公告)号:CN105960590A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201580007179.6

    申请日:2015-01-30

    CPC classification number: G01N23/207

    Abstract: 作为本发明的一个方式的X射线衍射装置(1)包括:测量单元(2),其测量被检试样(16)的X射线衍射强度分布;距离测量部(9),其测量被检试样(16)与测量单元(2)之间的间隔距离(Z);以及数据处理部(10),其对X射线衍射强度分布进行校正处理。测量单元(2)具有:X射线照射部(3),其对被检试样(16)照射X射线;X射线检测部(6),其对来自被检试样(16)的多条衍射X射线进行一维检测或者二维检测;以及框体(8),其使X射线照射部(3)以及X射线检测部(6)相对于基准面(17)相对固定地配置。数据处理部(10)基于间隔距离(Z)来计算被检试样(16)的位移(ΔZ),根据计算出的位移(ΔZ),来计算被检试样(16)的测量点处的真实X射线衍射角(2θ),并基于计算出的真实X射线衍射角(2θ),来校正X射线衍射强度分布。

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