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公开(公告)号：CN114815508A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210757464.1
申请日：2022-06-30
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明属于电子材料技术领域。本发明公开了一种感光干膜抗蚀剂层压体，其包括：支撑层，包括第一面和第二面；抗蚀剂层，设于支撑层的第一面，抗蚀剂层包括抗蚀剂；第一面与抗蚀剂层之间具有第一剥离强度，第二面与抗蚀剂层之间具有第二剥离强度，第一剥离强度大于第二剥离强度；支撑层满足，第二面与抗蚀剂层剥离后，第二面上抗蚀剂的残留量小于等于0.01wt%。本发明采用不包含保护层的感光干膜抗蚀剂层压体，解决了保护层缺陷引起的抗蚀剂层质量问题，并且可以降低成本，缩减覆盖保护层工艺；本发明对支撑层远离抗蚀剂层的一面进行改性，使感光干膜抗蚀剂层压体进行收卷时抗蚀剂层不会发生粘连损坏，轻易地将抗蚀剂层从卷中释放开进行贴膜。
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公开(公告)号：CN109062005A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201811278277.5
申请日：2018-10-30
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种感光干膜，它包含碱可溶性聚合物、具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物和光引发剂；所述碱可溶性聚合物的重量含量为50‑70％，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物的重量含量为20‑40％，所述光引发剂的重量含量为0.5‑10％。本发明的感光干膜同时具有优异的的解析度、附着力、盖孔性能和柔韧性，并且感光干膜进行光固化后形成的固化膜褪膜碎片较小，显著降低了开路缺口发生的概率，解决了线路板塞孔问题。
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公开(公告)号：CN114815508B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210757464.1
申请日：2022-06-30
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明属于电子材料技术领域。本发明公开了一种感光干膜抗蚀剂层压体，其包括：支撑层，包括第一面和第二面；抗蚀剂层，设于支撑层的第一面，抗蚀剂层包括抗蚀剂；第一面与抗蚀剂层之间具有第一剥离强度，第二面与抗蚀剂层之间具有第二剥离强度，第一剥离强度大于第二剥离强度；支撑层满足，第二面与抗蚀剂层剥离后，第二面上抗蚀剂的残留量小于等于0.01wt%。本发明采用不包含保护层的感光干膜抗蚀剂层压体，解决了保护层缺陷引起的抗蚀剂层质量问题，并且可以降低成本，缩减覆盖保护层工艺；本发明对支撑层远离抗蚀剂层的一面进行改性，使感光干膜抗蚀剂层压体进行收卷时抗蚀剂层不会发生粘连损坏，轻易地将抗蚀剂层从卷中释放开进行贴膜。
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公开(公告)号：CN105511227B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201510997422.5
申请日：2015-12-26
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明提供一种具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蚀剂及其层压体，所述干膜抗蚀剂包括第一组分和第二组分，所述第一组分由碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和单体或寡聚物、光引发剂和助剂组成；所述第二组分由含羧基的碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和键单体或寡聚物、光引发剂、结构式I的化合物、以及助剂组成；所述层压体包括支撑体、由第一组分构成的第一抗蚀层，由第二组分构成的第二抗蚀层，以及层叠于第二抗蚀剂层之上的保护膜。本发明通过对两种组分设计不同的分子量和交联密度，实现了良好的显影性和孔掩蔽性能。。
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公开(公告)号：CN105974737B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201610429612.1
申请日：2016-06-16
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种感光性树脂组合物，它含有55‑70重量份的聚合物、15‑40重量份的具有乙烯基可光交联单体和0.5‑5重量份光引发剂，所述聚合物由一种或多种含羧基的共聚单元单体与一种或多种不含羧基基团的共聚单元单体共聚而得；本发明能使显影液不溶物质更好地形成胶束，能够减少显影液中不溶物，有效减少显影垃圾。
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公开(公告)号：CN106249545B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201610733916.7
申请日：2016-08-25
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种可自修复的光敏阻焊干膜，本发明首先将双环戊二烯和亚乙基降冰片烯包裹在脲醛树脂形成的直径为1‑10um的微胶囊内，再将微胶囊与含羧基的碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和单体或寡聚物、光引发剂、助剂、双环戊二烯、亚乙基降冰片烯、苯基亚甲基双(三环己基磷)二氯化钌混合后，涂布在支持体上并干燥；上层贴合聚合物覆盖膜，即制得本发明可自修复的光敏阻焊干膜。本发明将自修复材料引入到阻焊干膜中，使得阻焊干膜在出现裂痕和空洞等缺陷时能够实现自修复，从而保证了线路板的阻焊性及绝缘性，并很大程度上延长线路板的使用寿命。
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公开(公告)号：CN105573056B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201510957835.0
申请日：2015-12-18
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种低气味的感光干膜抗蚀剂，在保持感光干膜基本性能的前提下，解决强烈刺激性气味的问题。所述碱溶性树脂由18‐25重量份的甲基丙烯酸、35‐55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‐30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‐20重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到可光聚合化合物选用乙氧化乙烯基醚类单体，有效降低刺激性气味，从而降低或消除感光干膜抗蚀剂原有的臭味效果。同时感光干膜抗蚀剂其它性能如光敏性、解析度、附着力、机械强度等都不受影响。本发明的低气味感光干膜抗蚀剂有利于改善作环境，提高操作人员和下游企业的满意度，减少环境污染，具有显著的环境效益和社会价值。
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公开(公告)号：CN105676593B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201610034685.0
申请日：2016-01-19
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
IPC分类号： G03F7/16
摘要： 本发明提供一种储存稳定的感光干膜及其制备方法，所述感光干膜依次由支撑膜层、抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成，克服了常规PET膜热封性能差的缺点。通过加热分切，使得切口处的支撑膜、抗蚀剂和保护膜快速热封，形成宽度为0.1‑2.0mm的热封层，这样可以防止抗蚀剂层发生冷流，抑制边沿流胶，阻隔氧气和水汽破坏，得到储存稳定的干膜成品。另外，即使在加热条件下进行分切，也不会降低干膜的分辨率等性能。
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公开(公告)号：CN105467711B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201510957443.4
申请日：2015-12-18
申请人： 杭州福斯特应用材料股份有限公司
IPC分类号： G02F1/153
摘要： 本发明公开了一种变色面积可控的全固态电致变色器件及其制备方法，其特征为：在一块导电玻璃上利用菲林片及30‑50μm厚的干膜进行图形转移，经曝光，显影后在导电面上形成宽为1‑2mm，高为膜厚的细条状干膜，随后通过磁控溅射法分别在此基底上镀上电致变色层(EC)，离子导电层(IC)以及离子储存层(CE)，然后分别用两种蚀刻液对剩下的干膜及透明导电层进行蚀刻，最后通过封装技术将另一面对应位置蚀刻掉透明导电层的玻璃完整地封装起来，从而制备了一种变色面积可控的全固态电致变色器件。本发明制备的全固态电致变色器件不仅可以控制变色玻璃透过率，而且可以达到变色面积可控化，此外它还具有全固态器件封装简单，使用寿命长等一系列优点。
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