公开(公告)号：CN117932534A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202410087927.7

申请日：2024-01-22

Applicant: 杭州电子科技大学浦江微电子与智能制造研究院有限公司

Inventor： 李训根 ,  余健铭 ,  张磊 ,  毛卓淇 ,  徐小良 ,  游彬 ,  李文钧 ,  席旭刚 ,  张弛悦 ,  张洪铖

IPC: G06F18/25 ,  G06F18/27 ,  G06F18/213 ,  G06N3/0442 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0985 ,  G06N20/10 ,  G06F18/2411 ,  G06F123/02

Abstract: 本发明公开了一种基于HPO‑SVR‑LSTM的水晶研磨时间预测方法，首先通过水晶研磨工业控制系统采集数据并构建数据集，对研磨控制参数序列进行预处理降低样本中的敏感性；构建SVR非线性时长预测单元以及LSTM神经网络时长预测单元，捕捉数据的非线性特征及多元变量间的映射关系；融入输入注意力模块，提取研磨控制参数间的时空关系特征并分配权重；融入HPO优化算法，迭代寻优预测单元的超参数以及单元组合比例，提高模型性能与稳定性，并输出水晶研磨时间的预测值。有效改善了水晶过磨或者少磨而造成质量不稳定的问题，不再需要工人依据经验对研磨时间进行估计与调整，提高了预测的稳定性。