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公开(公告)号：CN113178517A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110321508.1
申请日：2021-03-25
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L41/29 , H01L41/047 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/04 , C23C14/10 , C23C14/08 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种耐高温的声表面波传感器叉指电极及其制备方法。现有金属材料叉指电极在高温下容易发生团聚、结块。本发明叉指电极包括衬底、氧化物界面层、复合电极层和氧化物保护层；氧化物界面层置于衬底上，氧化物保护层和多个复合电极层均置于氧化物界面层上，相邻复合电极层之间设有间隙；氧化物保护层包裹各复合电极层；复合电极层的材料为掺杂氧化物的金属。本发明通过在衬底和电极之间加入一层氧化物界面层，有效阻止了高温下衬底中原子扩散至电极中；本发明采用金属和氧化物渐变变化的复合电极，能有效阻碍高温下电极的团聚与凸起，增加了器件的高温耐热性，可用于1200℃以上的高温环境，延长了器件在高温环境下的工作时间。
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公开(公告)号：CN113178516A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110348190.6
申请日：2021-03-31
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L41/047 , H01L41/29 , C23C14/00 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/35 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了具有掺杂氧化物金属渐变层的耐高温电极及其制备方法。现有叉指电极在高温下容易团聚发生退化。本发明在衬底上沉积耐高温氧化物层；耐高温氧化物层上沉积间距设置的n层掺杂氧化物金属渐变层；每个掺杂氧化物金属渐变层上沉积若干薄膜层组；若薄膜层组的数量大于1，则各薄膜层组上下堆叠；薄膜层组由从上至下排布的掺杂氧化物金属渐变层和薄膜层组成；掺杂氧化物金属渐变层的材料为掺杂氧化物的金属。本发明在电极层中加入一层耐高温氧化层，可有效阻止高温下电极的熔融与断裂；在电极层中掺杂氧化物，可有效阻止高温下再结晶与晶粒生长，使得电极具有足够高的导电性被应用于高温声表面波器件。
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公开(公告)号：CN113178516B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202110348190.6
申请日：2021-03-31
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L41/047 , H01L41/29 , C23C14/00 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/35 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了具有掺杂氧化物金属渐变层的耐高温电极及其制备方法。现有叉指电极在高温下容易团聚发生退化。本发明在衬底上沉积耐高温氧化物层；耐高温氧化物层上沉积间距设置的n层掺杂氧化物金属渐变层；每个掺杂氧化物金属渐变层上沉积若干薄膜层组；若薄膜层组的数量大于1，则各薄膜层组上下堆叠；薄膜层组由从上至下排布的掺杂氧化物金属渐变层和薄膜层组成；掺杂氧化物金属渐变层的材料为掺杂氧化物的金属。本发明在电极层中加入一层耐高温氧化层，可有效阻止高温下电极的熔融与断裂；在电极层中掺杂氧化物，可有效阻止高温下再结晶与晶粒生长，使得电极具有足够高的导电性被应用于高温声表面波器件。
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公开(公告)号：CN113178517B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202110321508.1
申请日：2021-03-25
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L41/29 , H01L41/047 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/04 , C23C14/10 , C23C14/08 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种耐高温的声表面波传感器叉指电极及其制备方法。现有金属材料叉指电极在高温下容易发生团聚、结块。本发明叉指电极包括衬底、氧化物界面层、复合电极层和氧化物保护层；氧化物界面层置于衬底上，氧化物保护层和多个复合电极层均置于氧化物界面层上，相邻复合电极层之间设有间隙；氧化物保护层包裹各复合电极层；复合电极层的材料为掺杂氧化物的金属。本发明通过在衬底和电极之间加入一层氧化物界面层，有效阻止了高温下衬底中原子扩散至电极中；本发明采用金属和氧化物渐变变化的复合电极，能有效阻碍高温下电极的团聚与凸起，增加了器件的高温耐热性，可用于1200℃以上的高温环境，延长了器件在高温环境下的工作时间。
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