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公开(公告)号：CN119411106A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411361219.4
申请日：2024-09-27
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种X型谐振腔Y型环形天线式微波等离子体装置及设计方法，装置中波导传输部的Y型环形天线为倒Y状，矩形波导和短路活塞均设置在Y型环形天线的上部，微波经矩形波导进入Y型环形天线，短路活塞调节电场反射和馈入谐振部的微波能量，石英环设置在Y型环形天线与谐振部之间，增加微波耦合效率；谐振部的X型腔体内的顶部设置顶部挖槽，X型腔体内底部中央设置沉积台；水冷部的进水口、出水口和管道，均设置在沉积台下方，水经进水口进入管道，流经管道后经出水口流出。本发明具有沉积金刚石薄膜尺寸大，沉积速率高，耦合功率高等的特点。
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