公开(公告)号：CN109141559B

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201810993995.4

申请日：2018-08-29

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 王瑞金 ,  潘国胜 ,  杜家友 ,  朱泽飞

IPC: G01F1/684

Abstract: 本发明提供一种大量程双模热感桥式微流量计，包括MEMS晶片、CMOS晶片和热感流量传感器，所述MEMS晶片和CMOS晶片键合而成；所述MEMS晶片上设有进口、出口和第一空腔，所述CMOS晶片上设有第二空腔，连接触点；所述热感流量传感器置于第一空腔和第二空腔之间，所述热感流量传感器包括一个热子和二个探子，二个探子对称分布于热子二侧，用于测量不同流速下热子上游和下游的温差，通过连接触点将温差信号传出,本发明所述的大量程双模热感桥式微流量计结构简单，性能可靠，灵敏度高，采用热线模式和量热模式双工作模式，扩大了量程。

公开(公告)号：CN109141559A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201810993995.4

申请日：2018-08-29

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 王瑞金 ,  潘国胜 ,  杜家友 ,  朱泽飞

IPC: G01F1/684

CPC classification number: G01F1/6845

Abstract: 本发明提供一种大量程双模热感桥式微流量计，包括MEMS晶片、CMOS晶片和热感流量传感器，所述MEMS晶片和CMOS晶片键合而成；所述MEMS晶片上设有进口、出口和第一空腔，所述CMOS晶片上设有第二空腔，连接触点；所述热感流量传感器置于第一空腔和第二空腔之间，所述热感流量传感器包括一个热子和二个探子，二个探子对称分布于热子二侧，用于测量不同流速下热子上游和下游的温差，通过连接触点将温差信号传出,本发明所述的大量程双模热感桥式微流量计结构简单，性能可靠，灵敏度高，采用热线模式和量热模式双工作模式，扩大了量程。