公开(公告)号：CN119897799A

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202411967444.2

申请日：2024-12-30

Applicant: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

Inventor： 王方立

IPC: B24B41/06 ,  H01L21/683 ,  B24B29/04 ,  B24B51/00 ,  B28D5/00

Abstract: 本发明涉及一种增加潮湿环境吸盘布贴敷结构及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括吸盘，吸盘下端设有旋转轴，吸盘上设有中心孔，吸盘上端设有若干呈环形分布且与中心孔连通的吸附槽，旋转轴内设有与中心孔相连通的真空泵连通孔，吸盘上端设有硅片，硅片与吸盘间设有吸盘布。吸盘上端外圆设有支撑圈装配台阶，支撑圈装配台阶上设有与吸盘相嵌套的支撑圈，吸盘布、支撑圈、吸盘间形成边缘空腔，吸盘内设有若干与边缘空腔相连通的真空支路通道。具有结构简单、结构稳定性好和操作便捷的优点。通过边缘新增的真空空腔，固定吸盘布边缘，有效控制硅片破损的数量、吸盘布和抛光布的损失和稼动率的降低。

公开(公告)号：CN116966798A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310771266.5

申请日：2023-06-28

Applicant: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

Inventor： 王方立

IPC: B01F33/82 ,  B01F25/21 ,  B01F25/312 ,  B01F25/50 ,  B01F27/90 ,  B01F35/11 ,  B01F35/00 ,  B01F35/21 ,  B01F35/221 ,  B01F35/71 ,  B01F35/75 ,  B01F35/88 ,  B01F35/80

Abstract: 本发明涉及一种含表面清洁剂的精抛液快速混配装置及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括快速混配组件，快速混配组件外侧设有与快速混配组件相连通的输送管路系统，快速混配组件外侧设有与输送管路系统相并联式连通的循环补液组件，快速混配组件下端与循环补液组件、输送管路系统间均设有分流管。快速混配组件包括混液桶，混液桶上部设有搅拌杆，搅拌杆一侧设有进水管，搅拌杆另一侧设有回液搅拌连接管，回液搅拌连接管下端设有搅拌喷头，回液搅拌连接管上端设有回液管，回液搅拌连接管与搅拌杆间设有桶清洗喷头，混液桶下端设有与分流管相连通的输送管，输送管前端设有排水阀。具有结构紧凑、运行稳定性好和效率高的特点。

公开(公告)号：CN118268328A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410366360.7

申请日：2024-03-28

Applicant: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

Inventor： 郭建岳 ,  王方立

IPC: B08B9/027 ,  B08B9/032 ,  B08B13/00

Abstract: 本发明涉及一种PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括进液管、冲洗管和药液箱，通过进液管和冲洗管分别与PFA管路两端相管接头进行连接，所述的药液箱内设有隔板，通过隔板将药液箱分成混配腔和回收腔，所述的进液管与回收腔间设有回液管，所述的回液管上设有滤芯，所述的冲洗管与混配腔间设有抽液管，所述的抽液管与冲洗管间设有上设有隔膜泵。具有结构简单、运行稳定性好、安全可靠和节能降本的优点。解决了PFA管材研磨液结晶的问题。通过清洁管路，实现对管路的循环使用。

公开(公告)号：CN214149788U

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202023292211.7

申请日：2020-12-31

Applicant: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

Inventor： 王方立

IPC: G01M13/00 ,  G01N21/84 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型涉及一种研磨机销环磨损情况检测台，所属机械设备技术领域，包括颜料池，所述的颜料池上端设有转轴，所述的转轴两端与颜料池间设有轴承耳板座，两轴承耳板座间设有与转轴相限位嵌套连接的网纹辊，所述的网纹辊前端设有销环，所述的销环与颜料池前端间设有与销环相活动式套接的销环架，所述的销环架与颜料池间设有扭簧合页。具有结构简单、操作方便和检测稳定性好的特点。解决了销环磨损情况判断难度大的问题。