公开(公告)号：CN103842143A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280047938.8

申请日：2012-07-27

Applicant: 杜邦·三井氟化学株式会社 ,  霓佳斯株式会社

Inventor： 须田隆英 ,  西尾孝夫 ,  山本健太 ,  森谷勇斗 ,  富泽建雄 ,  饭田虎男 ,  二本木孝至

IPC: B29C45/00 ,  C08L27/12 ,  H01L21/304 ,  B29K27/12

CPC classification number: B29C45/0001 ,  B29C45/00 ,  B29K2027/12 ,  B29K2995/0058 ,  B29L2031/7126 ,  C08F14/26 ,  C08L27/18 ,  C08L2205/025 ,  C08L2205/14 ,  H01L21/6719 ,  Y10T428/139 ,  Y10T428/1397 ,  B29C45/0025

Abstract: 提供一种大型注射成型品，其通过将含有热熔融性氟树脂的组合物注射成型获得。具体地，提供一种大型注射成型品，其与传统的PFA相比可在较低注射压力下成型并且通过将具有优良的从模具的脱模性的组合物成型获得。所述大型注射成型品在基板处理设备的应用中显示特别优良的耐热性和耐化学品性，同时具有优良的尺寸精度。提供一种注射成型品，其通过将含有热熔融性氟树脂的组合物注射成型获得，并具有1100cm2以上的沿注射方向的投影面积。优选实施方案中，包含热熔融性氟树脂的组合物为含有MFR大于60g/10分钟的熔融成型性四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物的组合物。

公开(公告)号：CN103842143B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201280047938.8

申请日：2012-07-27

Applicant: 杜邦·三井氟化学株式会社 ,  霓佳斯株式会社

Inventor： 须田隆英 ,  西尾孝夫 ,  山本健太 ,  森谷勇斗 ,  富泽建雄 ,  饭田虎男 ,  二本木孝至

IPC: B29C45/00 ,  C08L27/12 ,  H01L21/304 ,  B29K27/12

CPC classification number: B29C45/0001 ,  B29C45/00 ,  B29K2027/12 ,  B29K2995/0058 ,  B29L2031/7126 ,  C08F14/26 ,  C08L27/18 ,  C08L2205/025 ,  C08L2205/14 ,  H01L21/6719 ,  Y10T428/139 ,  Y10T428/1397

Abstract: 提供一种大型注射成型品，其通过将含有热熔融性氟树脂的组合物注射成型获得。具体地，提供一种大型注射成型品，其与传统的PFA相比可在较低注射压力下成型并且通过将具有优良的从模具的脱模性的组合物成型获得。所述大型注射成型品在基板处理设备的应用中显示特别优良的耐热性和耐化学品性，同时具有优良的尺寸精度。提供一种注射成型品，其通过将含有热熔融性氟树脂的组合物注射成型获得，并具有1100cm2以上的沿注射方向的投影面积。优选实施方案中，包含热熔融性氟树脂的组合物为含有MFR大于60g/10分钟的熔融成型性四氟乙烯/氟烷氧基三氟乙烯共聚物的组合物。