公开(公告)号：CN104583699B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201380023073.6

申请日：2013-04-26

申请人： 杜尔系统股份公司

发明人： 迪特马尔·威兰 ,  奥利弗·伊格劳尔 ,  克里斯托夫·克尼赛尔 ,  马里厄斯·温克勒

IPC分类号： F26B15/14 ,  F26B21/04 ,  F26B25/00 ,  F26B23/02

CPC分类号： F26B21/004 ,  F26B15/14 ,  F26B21/04 ,  F26B21/10 ,  F26B23/022 ,  F26B25/008 ,  F26B2210/12

摘要： 本发明涉及一种带有过程腔(5)的设备(1)，过程腔包括带有用于工件(3)的容纳区域(15)的内部空间(39)。过程腔(5)具有用于输入或输出工件(3)的开口(12、14)。过程腔(5)带有用于将气态流体吹入内部空间(39)的机构(17、19、25、29、33、37、35)地构造，该机构具有至少一个喷嘴(17、19)或孔口用于在开口(12、14)与用于工件23)。过程腔(5)具有用于输入新鲜空气的装置(74)，利用该装置可以在流体流幕帘(21、23)的背离开口(12、14)的一侧上将新鲜空气导入到容纳区域(15)中。(3)的容纳区域(15)之间产生流体流幕帘(21、