公开(公告)号：CN116888434A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280012231.7

申请日：2022-02-02

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 清水哲也 ,  大友健太郎 ,  木户崚平

IPC: G01D5/244

Abstract: 本发明涉及一种位移检测装置。位移检测装置(100)所具备的检测信号处理装置(3)具备第1差动放大器(31)、第2差动放大器(32)以及运算处理部(35)。第1差动放大器(31)输出将余弦函数与负余弦函数合成而得到的第1交流信号。第2差动放大器(32)输出将正弦函数以及负正弦函数合成而得到的第2交流信号。运算处理部(35)至少在位移检测装置(100)的开始使用时，决定实质上表示励磁信号与第1交流信号以及第2交流信号的相位偏移量的值。在检测位移时，运算处理部(35)使用在基于所决定的上述值的定时取得的第1交流信号的值与第2交流信号的值进行arctan运算，输出刻度尺(1)相对于磁检测头(2)的相对位移信息。

公开(公告)号：CN113614492B

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202080023016.8

申请日：2020-02-19

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 清水哲也 ,  木户崚平

IPC: G01D5/245

Abstract: 磁式线性传感器(100)的标尺(1)所具备的磁响应部(12)构成为，对磁检测头(2)的磁影响的变化在位移检测方向上每隔第1间距(C1)交替地反复出现。磁检测头(2)在与位移检测方向垂直的方向即第1方向上，设置在标尺(1)的一侧。磁检测头(2)具备基座基板部(22)以及多个信号输出部(6)。信号输出部(6)配置于绝缘板，以基于第1间距(C1)的第2间距(C2)在位移检测方向上排列。各个信号输出部(6)所具备的第1导电图案(3)以及第2导电图案形成为，在与位移检测方向以及第1方向的任一个都正交的第2方向上细长的区域排列配置线圈要素。第1导电图案(3)以及第2导电图案具有一笔划形状。

公开(公告)号：CN113614492A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080023016.8

申请日：2020-02-19

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 清水哲也 ,  木户崚平

IPC: G01D5/245

Abstract: 磁式线性传感器(100)的标尺(1)所具备的磁响应部(12)构成为，对磁检测头(2)的磁影响的变化在位移检测方向上每隔第1间距(C1)交替地反复出现。磁检测头(2)在与位移检测方向垂直的方向即第1方向上，设置在标尺(1)的一侧。磁检测头(2)具备基座基板部(22)以及多个信号输出部(6)。信号输出部(6)配置于绝缘板，以基于第1间距(C1)的第2间距(C2)在位移检测方向上排列。各个信号输出部(6)所具备的第1导电图案(3)以及第2导电图案形成为，在与位移检测方向以及第1方向的任一个都正交的第2方向上细长的区域排列配置线圈要素。第1导电图案(3)以及第2导电图案具有一笔划形状。