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公开(公告)号：CN117630254A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311609834.8
申请日：2023-11-29
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法。该方法包括：在硅晶圆表面制备硅凹槽，采用玻璃回流工艺在硅凹槽中热回流填充熔融态的玻璃，冷却后对玻璃回流后上表面进行平坦化，并对硅晶圆背面进行减薄和刻蚀，清除硅材料，形成玻璃通道；对硅晶圆表面进行光刻和深反应离子刻蚀，形成硅通道；将玻璃通道和硅通道对准进行阳极键合，得到高深宽比微色谱柱。利用本公开，玻璃通道是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流至硅晶圆经刻蚀后的硅结构内一体成形的，无需刻蚀或腐蚀玻璃，玻璃通道成形质量高，且玻璃通道易于加工成型，有效地降低了加工难度，是高深宽比微色谱柱工艺实现的有效途径。采用硅‑玻璃阳极键合技术，键合难度大大降低，易于实现。
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公开(公告)号：CN114877938B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210517465.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置，包括温湿度监测单元，对洞窟空气颗粒物的湿度和颗粒物浓度检测环境的温度进行实时监测，并发送空气湿度数据和检测温度数据至数据处理单元；除湿单元，根据空气湿度数据对洞窟空气颗粒物进行除湿处理，维持颗粒物浓度检测环境；激光检测单元，在颗粒物浓度检测环境中，对颗粒物进行浓度检测，并发送浓度数据至数据处理单元；数据处理单元，获取与检测温度对应的修正系数，进行浓度数据的处理得到修正浓度数据，同时根据空气湿度数据控制除湿单元的启停。本公开可实现石窟寺类洞窟微环境空气颗粒物的实时、高精度监测需求，具备安装便携、数据可远传的功能。
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公开(公告)号：CN114279895A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111608159.8
申请日：2021-12-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法，该测量系统包括：直流供电模块采用外部24V直流供电，用于为直流脉冲激励信号发生模块和温度采集及数据处理模块供电；直流脉冲激励信号发生模块用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号VD，并输送至微机械谐振粘度传感器敏感结构；微机械谐振粘度传感器敏感结构用于在直流脉冲激励电压信号VD的驱动下产生敏感电流传感信号，并输送至温度采集及数据处理模块；温度采集及数据处理模块用于对敏感电流传感信号进行数据预处理及解析，得到被测流体粘度密度参数。利用本公开，由于能够同时实现微机电谐振式粘度传感器谐振频率和谐振Q值的测量，进而能够实现流体粘度的测量。
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公开(公告)号：CN114877938A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210517465.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置，包括温湿度监测单元，对洞窟空气颗粒物的湿度和颗粒物浓度检测环境的温度进行实时监测，并发送空气湿度数据和检测温度数据至数据处理单元；除湿单元，根据空气湿度数据对洞窟空气颗粒物进行除湿处理，维持颗粒物浓度检测环境；激光检测单元，在颗粒物浓度检测环境中，对颗粒物进行浓度检测，并发送浓度数据至数据处理单元；数据处理单元，获取与检测温度对应的修正系数，进行浓度数据的处理得到修正浓度数据，同时根据空气湿度数据控制除湿单元的启停。本公开可实现石窟寺类洞窟微环境空气颗粒物的实时、高精度监测需求，具备安装便携、数据可远传的功能。
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公开(公告)号：CN114716132A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210221075.7
申请日：2022-03-08
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于纳米粉末制备玻璃的方法，包括：按照玻璃各组分的质量百分比准备纳米粉末原料；将准备好的纳米粉末原料加入烧杯中，加入去离子水混合均匀，然后将烧杯放入超声水槽中，使混合均匀的纳米粉末原料充分振荡，消除粉末间的团聚；将充分振荡的纳米粉末原料放入真空箱内，抽真空并保持真空环境一段时间；将纳米粉末原料从真空箱取出并填入耐高温样品选定区域，在高温管式炉内进行烧结，纳米粉末原料在高温管式炉内经软化、回流、冷却，形成块状玻璃。利用本公开，节省了自制玻璃粉末的过程，缩短了制备时间，提高了制备效率，同时保障了粉末粒径的一致性，有效地解决了现有技术中存在的工艺过程耗时长等问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114279895B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202111608159.8
申请日：2021-12-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法，该测量系统包括：直流供电模块采用外部24V直流供电，用于为直流脉冲激励信号发生模块和温度采集及数据处理模块供电；直流脉冲激励信号发生模块用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号VD，并输送至微机械谐振粘度传感器敏感结构；微机械谐振粘度传感器敏感结构用于在直流脉冲激励电压信号VD的驱动下产生敏感电流传感信号，并输送至温度采集及数据处理模块；温度采集及数据处理模块用于对敏感电流传感信号进行数据预处理及解析，得到被测流体粘度密度参数。利用本公开，由于能够同时实现微机电谐振式粘度传感器谐振频率和谐振Q值的测量，进而能够实现流体粘度的测量。
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公开(公告)号：CN119270958A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411440246.0
申请日：2024-10-15
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G05D27/02
Abstract: 本公开提供了一种低温低气压可控环境模拟装置，包括：模拟舱、温度控制机组和压力控制机组，模拟舱内具有试验空间；温度控制机组与试验空间连通，用于为试验空间营造温度条件；压力控制机组与试验空间连通，用于为试验空间营造压力条件。本公开通过集成化的设计，对压力控制机组和温度控制机组中的部分或全部组件进行运行或关闭，灵活地控制试验环境，能够实现常压试验环境、常温低气压试验环境、低温试验环境、低温低气压试验环境以及低气压试验环境五种不同的试验模式，实现了多种环境条件的模拟，减少了试验所需设备数量，降低了设备成本和占地面积，降低了实验室成本并节省了场地空间需求，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN116337325A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310161673.4
申请日：2023-02-23
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本公开是一种宽量程高精度宽温区的真空传感器批量标定系统及方法，该系统包括：多通道球形真空腔室，安装有标准真空传感器，用于对多个待标定真空传感器的批量标定；抽气回路，用于对多通道球形真空腔室进行抽真空；补气回路，对多通道球形真空腔室进行补气；PLC控制系统，根据多通道球形真空腔室的实际压强与预设目标压强的差值，调控抽气速率和补气速率，实现对多通道球形真空腔室中真空度的高精度调节。本公开利用宽量程标准真空传感器、开合角度可调的电动闸板阀和多量程质量流量计等协同配合，提升了真空系统压强值的精准性和调控的时效性，可对真空传感器进行满量程正反行程的测试和温度的调控，为真空传感器的准确标定测试提供了新思路。
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公开(公告)号：CN116161611A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310192611.X
申请日：2023-02-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种无引线玻璃基底的微热板及其制备方法，该微热板包括：一玻璃基底，在该玻璃基底的正面具有一玻璃薄膜结构，在该玻璃薄膜结构两侧分别设有二通孔结构，在每一通孔结构内设有一导电硅柱；在与该玻璃薄膜结构相对的该玻璃基底的背面具有一隔热槽，在该玻璃基底背面的该导电硅柱的底端设有欧姆接触金属电极；一加热电极和一检测电极，形成于该玻璃薄膜结构之上；以及一绝缘结构，形成于该玻璃薄膜结构之上的该加热电极和该检测电极之间。本公开利用玻璃基底的导热系数比硅基底低和玻璃基底是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流而一体成形，采用玻璃基底来制备微热板，能够有效减少微热板的热损失，提高微热板结构稳定性。
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公开(公告)号：CN113405946B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110682858.0
申请日：2021-06-18
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G01N11/16
Abstract: 本公开提供了一种微机电谐振式粘度传感器，包括依次键合连接的第一液体接触膜、SOI组合体和第二液体接触膜，第一液体接触膜与第二液体接触膜关于SOI组合体镜像对称，SOI组合体包括谐振器，第一液体接触膜具有第一薄膜，第二液体接触膜具有第二薄膜，第一薄膜与第二薄膜的中心通过刚性体连接于谐振器的中心；第一薄膜与第二薄膜之间形成有真空腔体，谐振器位于真空腔体内，谐振器在驱动力作用下带动第一薄膜与第二薄膜沿着垂直于薄膜平面的方向谐振工作。利用本公开，粘度变化与谐振能量损耗的转换过程简单，有利于提高粘度的检测灵敏度，降低后端算法处理难度，提高传感器的输出精度，并且使得传感器的量程有大幅提升。
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