硅冷却液废液处理装置
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203428960U

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201320379090.0

    申请日:2013-06-28

    Abstract: 一种硅冷却液废液处理装置(10)包括:膜模块(12),具有中空纤维膜(28);第一流路(14b),连结于膜模块(12)的一端部;第二流路(14c),连结于膜模块(12)的另一端部;方向切换机构(34),能够在原液从第一流路(14b)流入中空纤维膜(28)内部的第一状态、与原液从第二流路(14c)流入中空纤维膜(28)内部的第二状态之间,切换原液的往膜模块(12)内的流动方向;反洗机构(38),利用反洗用流体对中空纤维膜(28)施加外压,以进行中空纤维膜的反洗。方向切换机构被构成为,在进行过滤时与进行中空纤维膜的反洗时之间的期间,能够切换原液的往膜模块内的流动方向。由此,能够提高反洗效果。

    浆料再生装置
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203471978U

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201320437347.3

    申请日:2013-07-22

    Abstract: 本实用新型提供一种浆料再生装置(10),将废弃冷却液亦即浆料(S)再生为能够再利用的冷却液,所述废弃冷却液包含用线锯(51)切断硅锭(I)时产生的切削屑和磨粒。所述浆料再生装置(10)包括:贮存进行再生处理的浆料(S)的贮存罐(11);以及用于储备向贮存罐(11)供应的浆料(So)的储备罐(41)。由此,无论浆料(So)的回收量如何,均能够始终稳定地连续再生浆料(S)。

    浆料再生装置
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203471976U

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201320437738.5

    申请日:2013-07-22

    Abstract: 本实用新型提供一种浆料再生装置(10),将废弃冷却液亦即浆料(S)再生为能够再利用的冷却液,所述废弃冷却液包含用线锯(51)切断硅锭(I)时产生的切削屑和磨粒。所述浆料再生装置(10)包括:贮存进行再生处理的浆料(S)的贮存罐(11);以及用于检测贮存于贮存罐(11)中的浆料(S)的液面的液面检测装置(12L)。由此,能够掌握贮存罐(11)内的浆料(S)的量。

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