板材的分离方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101119814B

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200680004821.6

    申请日:2006-02-13

    Abstract: 本发明提供板材的分离方法,使得即使不使用剥离部件,也能够彻底分离面积大的板材,并且在板材上不会产生永久变形。首先,在最上板材(W1)的表面呈格子状地吸附配置多个吸附垫(3),接着,在大体呈格子状地配置的吸附垫中,由呈锯齿状地配置的吸附垫保持最上板材的同时,由其余的吸附垫抬升最上板材。最后,将保持最上板材的吸附垫抬升起来,从而,利用其余的吸附垫抬升最上板材,从而在最上板材的中央部也产生被抬升的部分,在第二以及第三工序中,向最上板材和第二板材之间吹入热风的同时由吸附装置进行板材的抬升,预先在下侧的角部形成从板材的端面连到下表面的第一倾斜面,并且在上侧的角部形成从板材的端面连到上表面的第二倾斜面。

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