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公开(公告)号:CN107735856A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201580081174.8
申请日:2015-07-03
Applicant: 未来儿株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
CPC classification number: H01L21/67383 , H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67376 , H01L21/67386 , H01L21/67772
Abstract: 基板收纳容器具备形成有多个保护槽(225)的基板缘部保护部(222),所述多个保护槽(225)具有比基板(W)的缘部的厚度更宽的开口(2231)从而能够插入基板(W)的缘部,并至少在利用盖体封闭容器主体开口部时被逐个插入多个基板(W)的缘部。基板(W)的缘部在利用盖体封闭容器主体开口部时,在基板(W)的缘部与形成有保护槽(225)的基板缘部保护部(222)的槽形成面(2221)之间形成空间,并在基板(W)的缘部不与槽形成面(2221)接触的非接触状态下插入保护槽(225)。
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公开(公告)号:CN107735856B
公开(公告)日:2021-11-30
申请号:CN201580081174.8
申请日:2015-07-03
Applicant: 未来儿株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
Abstract: 基板收纳容器具备形成有多个保护槽(225)的基板缘部保护部(222),所述多个保护槽(225)具有比基板(W)的缘部的厚度更宽的开口(2231)从而能够插入基板(W)的缘部,并至少在利用盖体封闭容器主体开口部时被逐个插入多个基板(W)的缘部。基板(W)的缘部在利用盖体封闭容器主体开口部时,在基板(W)的缘部与形成有保护槽(225)的基板缘部保护部(222)的槽形成面(2221)之间形成空间,并在基板(W)的缘部不与槽形成面(2221)接触的非接触状态下插入保护槽(225)。
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