螺纹喷嘴插件的头部和杆部

    公开(公告)号:CN308930725S

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202330346712.9

    申请日:2023-06-07

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:螺纹喷嘴插件的头部和杆部。
    2.本外观设计产品的用途:螺纹喷嘴插件的头部和杆部用于半导体衬底或晶片处理所用的半导体处理工具中,并能拧入该工具的喷头下侧且用于使处理气体流向半导体晶片。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于产品的形状、图案及其结合。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
    5.其他需要说明的情形其他说明:实线表示要求保护的特征;虚线表示不要求保护的特征;点划虚线指示产品保护和非保护区域间的边界线。

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