公开(公告)号：CN118900989A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202380019525.7

申请日：2023-02-20

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 拉维库玛·帕蒂尔 ,  科尔斯·格瓦达鲁 ,  帕万·默利德哈·帕蒂尔 ,  卡尔·弗雷德里克·利瑟

IPC分类号： G01K11/22 ,  G01K11/32 ,  G01K1/08 ,  G01K1/14

摘要： 本文中描述的是一种基座组件，其包括平台，以及位于该平台下方的传感器支撑板。在至少一实现方案中，传感器支撑板包括传感器隔室，以及位于该传感器隔室内的波导温度传感器。在至少一实现方案中，波导温度传感器包括温度传感器，且该温度传感器包括第一反射器结构和第二反射器结构。在至少一实现方案中，该第一反射器结构及该第二反射器结构分隔开标距长度。

公开(公告)号：CN118843713A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202380026354.0

申请日：2023-03-06

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 萨钦·奥拉玛拉布·库巴萨德 ,  班亚·翁森纳库姆 ,  拉维库玛·帕蒂尔 ,  阿伦·库马尔·霍苏尔希瓦林格高达 ,  桑迪普·格哈尼

IPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455

摘要： 一种衬底处理系统的站包括基座和护罩。基座被设置在该站的井部中。该基座包括基部和杆部，该基部用于支撑衬底，而该杆部从该基部延伸至该站的该井部中。护罩耦合至该基座的该基部。该护罩围绕着该基部，且沿着该杆部延伸至该站的该井部中。该站还包括衬垫，其加衬在该站的该井部的内侧壁上。该站还包括衬垫，其加衬在该站的该井部的底部的面向基座的表面上。该站还包括中空物体，其设置在该站的该井部中。该中空物体的尺寸小于该站的该井部。