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公开(公告)号:CN116288192A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202211089838.3
申请日:2022-09-07
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 有研稀土高技术有限公司
摘要: 本发明公开了一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法,包括如下步骤:将稀土旋转靶材与预设金属靶管制备成稀土合金旋转靶材,稀土旋转靶材的材料为铽、镝、钬、钆中的一种,预设金属靶管包括铝、铜、镍、铁等中的至少一种;将稀土合金旋转靶材与背管焊接在一起;将稀土合金旋转靶材与背管安装于镀膜生产线上;对磁铁进行热处理和回火处理,得到处理后的稀土合金靶材。为提高稀土靶材利用率、溅射效率和实现成分精准控制,同时达到缩短晶界扩散时间或降低扩散温度,将稀土与预设金属元素组合制备成合金旋转靶材,靶材利用率可达85%以上,实现铽/镝等稀土和预设金属元素同时附着在钕铁硼表面,有助于改善晶界扩散和优化磁体性能。
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公开(公告)号:CN112877653A
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN202011543862.0
申请日:2020-12-24
申请人: 有研稀土高技术有限公司 , 有研稀土新材料股份有限公司
摘要: 一种铝钪合金扩散焊接靶材及其制备方法与应用,包括铝钪合金靶坯、铝基合金背板及位于所述铝钪合金靶坯和铝基合金背板之间的中间层,所述中间层为铝层,所述中间层与所述铝钪合金靶坯之间、所述中间层与所述铝基合金背板之间均通过扩散焊接。该方法相比直接扩散焊接温度可降低100‑150℃,有效解决了铝钪合金靶坯和铝合金背板在较高温条件下因收缩比例差异性大导致脆性断裂或者变形不能有效焊接的问题。
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公开(公告)号:CN116213992A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202211090269.4
申请日:2022-09-07
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 有研稀土高技术有限公司
摘要: 本发明公开了一种稀土靶材、背板及稀土靶材焊接方法,涂覆有焊料的无凹槽背板和涂覆有焊料的有台阶的稀土靶材,焊接方法具体为:常温下将稀土靶材和背板的焊接面扣合在一起,并在稀土靶材与背板之间放置至少一层焊料片;在第一预设温度的预设比例范围内向稀土靶材和背板施加预设压力值,使稀土靶材和背板焊接在一起,第一预设温度小于焊料片的熔点温度;在稀土靶材和背板冷却至常温后,对二者进行焊接后处理。通过将涂覆有铟、锡焊料的无凹槽背板和涂覆有相同焊料的有台阶的稀土靶材焊接在一起,并在二者之间设置相同材质的焊料片,在低于铟等焊料熔点下施加压力控制焊层厚度,实现了稀土靶材高质量焊接,减缓了稀土靶材和焊料的氧化过程。
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公开(公告)号:CN115505885A
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202211099776.4
申请日:2022-09-07
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 有研稀土高技术有限公司
摘要: 本发明实施例涉及一种共溅射稀土旋转靶材、制备方法及其应用方法,所述共溅射稀土旋转靶材包括设置于靶材轴向端部的2节端部靶管和设置于2节端部靶管之间靶材沿轴向中间区域的若干节稀土靶管和若干节共溅射靶管,所述若干节稀土靶管和若干节共溅射靶管间隔设置,各节靶管之间通过焊接相互拼接;所述共溅射靶管选自铝、铜、镍、铁和镨靶管中的至少一种,所述端部靶管为非稀土靶管或稀土靶管。本发明实施例提供的技术方案,将稀土靶管与铝、铜等共溅射元素靶管组合在同一支旋转靶材,实现稀土和共溅射元素同时附着在钕铁硼表面,在提高稀土靶材利用率和溅射效率的同时,可以达到缩短晶界扩散时间和降低扩散温度的有益技术效果。
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公开(公告)号:CN115874155B
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202111151674.8
申请日:2021-09-29
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 有研稀土高技术有限公司
摘要: 一种稀土旋转靶材及其制备方法与应用,所述方法包括:将背管和粉末状原料放入模具内,形成中心为背管四周为原料层的复合结构,其中,所述原料包括稀土金属单质和/或稀土合金,所述原料层包括第一原料层和第二原料层,所述第一原料层位于所述背管和第二原料层之间,所述第一原料层中的原料粒径小于所述第二原料层中的原料粒径;对所述复合结构进行冷/热等静压成型,烧结冷却过程控制背管与原料层的温度差,得到稀土旋转靶材。该方法将靶管制备与焊接两个步骤合二为一,在稀土旋转靶管制备过程中同时实现了靶管与背管的焊接,不仅缩短了稀土金属及合金旋转靶材的制备流程,提高了制备效率,还节约了铟等焊料,解决了焊合率低和靶材后期开焊问题。
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公开(公告)号:CN112725745A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011547239.2
申请日:2020-12-24
申请人: 有研稀土高技术有限公司 , 有研稀土新材料股份有限公司
摘要: 一种铝钪合金靶材及其制备方法与应用,将金属铝和金属钪进行合金化,得到铝钪母合金;采用甩带快淬法将所述铝钪母合金制成铝钪合金薄带;对所述铝钪合金薄带进行破碎制粉、筛分,得到铝钪合金粉末;对含有所述铝钪合金粉末的原料进行热压烧结、加工,得到铝钪合金靶材。该方法得到的铝钪合金靶材致密度高、成分均匀,晶粒细化、达到微晶级(尺寸<10μm),氧质量百分比含量控制在0.05%以内,整个制备工艺操作简单、易产业化、成本低。
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公开(公告)号:CN115874155A
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202111151674.8
申请日:2021-09-29
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 有研稀土高技术有限公司
摘要: 一种稀土旋转靶材及其制备方法与应用,所述方法包括:将背管和粉末状原料放入模具内,形成中心为背管四周为原料层的复合结构,其中,所述原料包括稀土金属单质和/或稀土合金,所述原料层包括第一原料层和第二原料层,所述第一原料层位于所述背管和第二原料层之间,所述第一原料层中的原料粒径小于所述第二原料层中的原料粒径;对所述复合结构进行冷/热等静压成型,烧结冷却过程控制背管与原料层的温度差,得到稀土旋转靶材。该方法将靶管制备与焊接两个步骤合二为一,在稀土旋转靶管制备过程中同时实现了靶管与背管的焊接,不仅缩短了稀土金属及合金旋转靶材的制备流程,提高了制备效率,还节约了铟等焊料,解决了焊合率低和靶材后期开焊问题。
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公开(公告)号:CN115533359A
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN202211099977.4
申请日:2022-09-07
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 有研稀土高技术有限公司
摘要: 本发明涉及一种稀土旋转靶材及其制备方法,所述稀土旋转靶材包括背管和至少一节焊接于背管外部的稀土靶管;所述背管和稀土靶管通过中间焊层进行焊接,所述中间焊层包括金属铟焊料和设置于金属铟焊料中的铝片,所述中间焊层中的铝含量为3‑10wt.%,所述背管、铝片和稀土靶管为同心的圆柱状结构。本发明的技术方案,从靶材焊接、焊料合金化等方面着手,通过在焊层中间增加铝片,结合热处理过程,提高了焊料熔点,达到提高稀土旋转靶材溅射功率密度和靶材利用率的目的,实现了低温焊接并减缓稀土靶材氧化。
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公开(公告)号:CN113493070B
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202110169628.4
申请日:2021-02-07
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司
摘要: 本发明涉及一种稀土金属及合金材料的存储装置及存储方法,存储装置包括金属腔体、观察窗、四通、充气接口、抽气接口、真空计接口、真空计、压力表及烘烤带;金属腔体为真空或压力容器,用于密封存储稀土金属和/或合金材料;金属腔体设置用于观察稀土金属和/或合金材料的观察窗,设有充气连口和抽气接口,连接真空计及压力表,设置烘烤带,用于对所述金属腔体加热除气。本发明的存储装置放气量少、漏率小,同时含有可视化观察窗,既能清楚观察物件存储情况,又可实现长时间、方便快捷地进行存储和运输,还能重复使用,非常适合电子信息用稀土金属及合金靶材的存储。存储是在高真空或者惰性气氛的压力状态下,实现长时间存储。
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公开(公告)号:CN112921363B
公开(公告)日:2022-05-10
申请号:CN201911231898.2
申请日:2019-12-05
申请人: 有研稀土新材料股份有限公司 , 河北雄安稀土功能材料创新中心有限公司
摘要: 一种钇镍储氢合金的制备方法,采用电解槽进行电解,电解槽包括阴极、阳极、槽体和收集容器;电解槽上部设有开口,槽体内部装有电解熔盐;以金属镍作为所述阴极,所述电解熔盐包括氟化物电解熔盐。在电解过程中,通过引入变价元素,使得变价元素参与电化学反应并与碳形成化合物(MxCy),化合物(MxCy)的碳在阳极形成CO或者CO2气体逸出,如此循环往复,进而达到降低产品中碳含量的目的。本发明使用方法简便,操作简单,投入成本低,易于工业推广应用。
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