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公开(公告)号:CN109879240B
公开(公告)日:2021-11-09
申请号:CN201711277777.2
申请日:2017-12-06
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种厚膜吸气材料的制备方法,属于电真空吸气元件制备技术领域。先将非蒸散型吸气材料粉末与有机粘结剂均匀混合,得到厚膜浆料;同时将低熔点玻璃粉与硝棉溶液或焊料与硝棉溶液混合均匀,在器件基材上均匀涂覆一层低熔点玻璃粉浆料或焊料浆料;采用浇铸、印刷、喷涂、刷涂或刮刀涂层工艺将厚膜浆料在低熔点玻璃粉或焊料涂层表面沉积;最后进行真空烧结,得到非蒸散型厚膜吸气材料。本发明的厚膜吸气材料克服体吸气材料和薄膜吸气材料的劣势,有效地同时解决装配空间和吸气容量不能兼容的问题,并且采用了一种由底层焊接层和吸气材料层组成的复合双层结构,提高了非蒸散型厚膜吸气材料在器件基底上的附着强度,提高了器件的可靠性。
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公开(公告)号:CN106910664B
公开(公告)日:2019-07-19
申请号:CN201510970978.5
申请日:2015-12-22
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01J9/39
Abstract: 本发明公开了一种新型电加热型吸气元件,包括金属合金管以及填充在管内的吸气合金材料,其中,所述金属合金管壁上形成有多个微孔,这些微孔排列成点阵网状结构;所述吸气合金材料为未经过烧结的吸气合金材料,吸气合金材料的颗粒直径分布范围大于金属合金管壁的微孔直径。本发明的新型吸气元件由金属合金管和吸气合金组成,吸气合金不用经过烧结直接装配使用,工艺过程简单,易操作;由于没有烧结的吸气合金具有较大的比表面积和孔隙度,吸气性能优良;吸气元件强度高,能够适应苛刻的冲击、振动、摩擦等恶劣环境,且吸气材料选择不受元件整体强度限制,可选择的范围较广,激活温度范围宽;吸气元件一体成型,结构简单,尺寸易调且能精确控制。
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